[发明专利]一种三维MIM电容器的制备方法有效
| 申请号： | 202010651339.3 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111933622B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 邹思月;张继华;方针;高莉彬;陈宏伟;王文君;蔡星周;穆俊宏 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;成都迈科科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三维 mim 电容器 制备 方法 | ||
1.一种三维MIM电容器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、将金属片进行清洗、预处理，然后在电解液中进行阳极氧化，得到多孔金属底电极；其中，阳极氧化的电流密度为20～50mA/cm2，阳极氧化的时间为20～40min；
步骤2、将步骤1得到的多孔金属表面不致密的氧化膜采用酸去除；
步骤3、将步骤2处理后的多孔金属放入管式炉中进行高温氧化，氧化温度为600～700℃，时间为2～3h，得到带全致密绝缘介层的三维多孔金属底电极；
步骤4、采用磁控溅射法在带全致密绝缘介层的三维多孔金属底电极上制备顶电极，溅射功率为40～80W，溅射时间为5～10min，即可得到所述三维MIM电容器。
2.根据权利要求1所述的三维MIM电容器的制备方法，其特征在于，步骤1所述预处理为酸蚀去除表面氧化物，酸蚀液为盐酸、硫酸、硝酸、磷酸中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的三维MIM电容器的制备方法，其特征在于，步骤1所述电解液是将去离子水、氟化铵溶于溶剂中，配制得到的；其中，去离子水、氟化铵、溶剂的质量比为(15～20)：(0.5～1)：(80～85)，溶剂为乙二醇或磷酸。
4.根据权利要求1所述的三维MIM电容器的制备方法，其特征在于，步骤2所述酸为盐酸、硫酸、硝酸、磷酸中的一种或几种，处理时间为40～50min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学;成都迈科科技有限公司，未经电子科技大学;成都迈科科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010651339.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种垃圾预热提高焚烧效率的燃烧炉
- 下一篇：空调机组的紧急运行方法
