[发明专利]一种波长可调谐的深紫外双光束激光系统及其方法

权利要求书

1.一种波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，包括激光器、二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔、合束片和五倍频晶体；所述激光器射出1064nm激光形成第一光路，所述第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔，所述波长分离镜分离出一路532nm激光形成第二光路，谐振腔返回一路355nm激光形成第三光路；所述合束片设置于第二光路与第三光路的相交处，合成一路包含355nm激光和532nm激光的复合光形成第四光路，所述五倍频晶体设置于第四光路上；所述谐振腔内设置有BBO晶体及控制所述BBO晶体相位角转动的调谐装置；

所述调谐装置包括恒温罩、铰接杆、凸轮、调节杆和复位机构；所述恒温罩罩设于主光路上的晶体之外，为晶体提供恒温环境；所述铰接杆设置于恒温罩上；所述调节杆的第一端固定连接于恒温罩上，第二端与凸轮相抵接，凸轮的转动带动恒温罩绕铰接杆转动；所述复位机构设置于恒温罩下方，为恒温罩提供压向凸轮的压力。

2.根据权利要求1所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述调谐装置还包括固定架，所述铰接杆固定于固定架上，所述复位机构设置于固定架与恒温罩之间。

3.根据权利要求1或2所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述复位机构为弹簧。

4.根据权利要求1所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述恒温罩包括底板、加热层、温度传感器、罩体和平面镜；所述加热层环绕在底板的周侧形成用于放置BBO晶体的容纳腔；所述温度传感器设置于BBO晶体上，检测BBO晶体的实时温度；所述罩体罩射在加热层外侧；所述加热层两侧的相对位置上设置有第一通孔，所述罩体两侧的相对位置上设置有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔在同一直线上，所述平面镜密封安装于第二通孔内。

5.根据权利要求4所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，还包括翅片，所述翅片均匀设置于加热层内侧除第一通孔以外的位置上。

6.根据权利要求4所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述底板沿水平向外延伸形成折边。

7.根据权利要求4所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统，其特征在于，所述底板和罩体采用绝热材料制成。

8.一种基于权利要求1至7任一项所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，打开激光器，谐振腔输出UV光，五倍频晶体输出213nm激光；

S2，控制凸轮转动，使得与凸轮相抵接的调节杆向上或向下摆动；

S3，BBO晶体绕铰接杆转动，使得BBO晶体的相位角发生改变；

S4，谐振腔输出的UV光在240nm～300nm波段范围内调谐。

9.根据权利要求8所述的波长可调谐的深紫外双光束激光系统的方法，其特征在于，所述S2中，复位机构时刻为恒温罩提供压向凸轮的压力。