[发明专利]一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵及其使用方法

权利要求书

1.一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，包括壳体(2)，其特征在于：所述壳体(2)的左侧面连通有进口接头(1)，所述进口接头(1)的右端连通有进口阀门(7)，所述壳体(2)的右侧面连通有出口接头(4)，所述出口接头(4)的左端连通有出口阀门(9)，所述壳体(2)的下表面设置有金属基板(5)，所述金属基板(5)的下表面设置有压电陶瓷振子(8)。

2.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述壳体(2)的下表面设置有第一防水固态胶膜(3)，所述压紧片(10)和所述壳体(2)之间通过第一防水固态胶膜(3)粘接。

3.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述进口接头(1)和所述出口接头(4)均为可拆卸结构，且所述进口接头(1)和所述壳体(2)连接处与所述出口接头(4)和所述壳体(2)连接处均设置有密封垫圈。

4.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述壳体(2)和所述金属基板(5)之间设置有第二防水固态胶膜(6)，所述壳体(2)通过所述第二防水固态胶膜(6)与金属基板(5)粘接。

5.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述第一防水固态胶膜(3)和所述第二防水固态胶膜(6)之间设置有压紧片(10)。

6.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述压电陶瓷振子(8)通过粘接剂固定安装在所述金属基板(5)的下表面。金属基板(5)主要对压电陶瓷振子(8)起到固定和保护作用，同时也方便将压电陶瓷振子(8)安装到泵腔中，所以两者一般同时使用。

7.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述进口阀门(7)和所述出口阀门(9)均通过所述压紧片(10)固定。

8.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，其特征在于：所述进口接头(1)与所述进口阀门(7)的方向平行，所述出口接头(4)与所述出口阀门(9)的方向平行。

9.一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：当压电陶瓷振子两端施加交流电源U时，压电陶瓷振子在电场作用下径向压缩，内部产生拉应力，从而使压电陶瓷振子弯曲变形；当压电陶瓷振子正向弯曲时，压电振子向下伸长，带动粘接的金属基板同步向下弯曲伸长，泵腔容积增大，腔内压力减小，泵阀的进口阀门向下打开，出口阀门则受到压紧板的阻挡而关闭，外界的流体或气体从进口进入泵腔；当压电陶瓷振子向上反向弯曲时，压电陶瓷振子收缩，带动粘接的金属基板同步向上弯曲收缩，泵腔容积减小，腔内压力增大，泵阀的进口阀门则受到壳体腔体端面的阻挡而关闭，出口阀门向上打开，泵腔中的流体或气体向外排出；往复循环这一过程，流体或气体便形成平缓的连续不断的定向流动。