[发明专利]一种夹持机构及检测装置

权利要求书

1.一种夹持机构，用于夹持基板，其特征在于，所述夹持机构包括：

支撑本体(1)，包括支撑平面(11)，所述支撑平面(11)用于支撑所述基板的底面；

至少三组径向抵压组件(2)，设置在所述支撑本体(1)上且能够分别沿所述基板的径向抵压所述基板的周面，以限定所述基板在所述支撑平面(11)内的位置；

轴向抵压组件(3)，设置在所述支撑本体(1)上，所述轴向抵压组件(3)能够沿所述基板的轴向将所述基板夹紧于所述支撑平面(11)上；

所述径向抵压组件(2)包括：

推块(21)，至少部分凸出于所述支撑平面(11)，所述推块(21)与所述支撑本体(1)活动连接；

传动组件(22)，在所述支撑本体(1)内部与所述支撑本体(1)铰接，所述传动组件(22)的第一端与所述推块(21)活动连接；

第一弹性件(26)，其用于将所述传动组件(22)弹性支撑于所述支撑本体(1)；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够挤压所述传动组件(22)的第二端，以使所述第一端带动所述推块(21)沿所述基板的径向抵压所述基板的周面。

2.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述径向抵压组件(2)还包括连接杆(24)，所述连接杆(24)的两端分别与所述推块(21)和所述支撑本体(1)铰接，所述传动组件(22)的第一端与所述推块(21)铰接。

3.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)上设置有沿所述基板的径向延伸的导轨，所述推块(21)与所述导轨滑动配合；

所述推块(21)上设置有沿所述基板的轴向延伸的长孔，所述传动组件(22)的第一端与所述长孔滑动配合。

4.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述径向抵压组件(2)还包括抵压件(23)，所述抵压件(23)与所述支撑本体(1)滑动配合，所述抵压件(23)的一端与所述第二端相抵接，另一端能够伸出所述支撑平面(11)；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够挤压所述抵压件(23)以挤压所述第二端。

5.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)包括第一支撑块(12)和第二支撑块(13)，所述支撑平面(11)设置在所述第一支撑块(12)上，所述第一支撑块(12)与所述第二支撑块(13)沿垂直于所述支撑平面(11)的方向滑动配合；

所述传动组件(22)的第二端上设置有凸块(25)，所述凸块(25)位于所述第一支撑块(12)与所述第二支撑块(13)之间；

所述基板放置于所述支撑平面(11)能够使所述第一支撑块(12)靠近所述第二支撑块(13)以下压所述凸块(25)。

6.如权利要求5所述的夹持机构，其特征在于，所述支撑本体(1)还包括导柱(14)，所述导柱(14)沿垂直于所述支撑平面(11)的方向延伸；

所述导柱(14)的一端与所述第一支撑块(12)固定连接，另一端与所述第二支撑块(13)滑动配合；或所述导柱(14)的一端与所述第二支撑块(13)滑动配合，另一端与所述第一支撑块(12)固定连接。

7.如权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述传动组件(22)包括：

第一传动杆(221)，其与所述推块(21)活动连接；

第二传动杆(222)，与所述第一传动杆(221)呈夹角设置，所述第二传动杆(222)或所述第二传动杆(222)与所述支撑本体(1)铰接，所述第一弹性件(26)的两端分别与所述支撑本体(1)和所述第二传动杆(222)相连接。