[发明专利]一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法

权利要求书

1.一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，包括：

步骤S1：用户载入待扫描样品；

步骤S2：用户设置若干参数；

步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；

步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；

步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；

步骤S6：电子显微镜根据所述参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有所述扫描区域。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S2中，若干所述参数包括：放大倍数和电压。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述扫描区域为全样品扫描区域或随机的任意区域。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S4中，电子显微镜在所述扫描区域内选择三个点。

5.根据权利要求4所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S4和所述步骤S5中，电子显微镜根据所述待扫描样品大小确定三点聚焦焦点位置。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S4和所述步骤S5中，若所述待扫描样品为非圆形平面样品，则根据所述待扫描样品的形貌，以将所述待扫描样品分割为若干小块均匀区域为原则，确定多点聚焦焦点位置。

7.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S5中，电子显微镜根据若干所述点的自动聚焦采集若干所述点的高度信息，自动修正所述待扫描样品的水平倾斜度，使所述待扫描样品水平。

8.根据权利要求7所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S5中，通过所述高度信息，采用线性关系调整其他位置的高度，从而得到清晰位置。

9.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S5中，所述放大倍数为15000倍。