[发明专利]离子源装置

权利要求书

1.一种离子源装置，其特征在于，包括：多个霍尔离子源，至少一个中空阴极以及基座；

所述霍尔离子源分布安装在所述基座上，所述中空阴极设于距离所述霍尔离子一设定位置处；

多个所述霍尔离子源同时进行覆盖，所述中空阴极为至少一个霍尔离子源提供中和电子，且至少一个中空阴极为多个霍尔离子源提供中和电子。

2.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，所述霍尔离子源数量为两个，所述中空阴极数量为一个；

其中，两个所述霍尔离子源相邻安装在基座上，所述中空阴极安装在两个所述霍尔离子源的一侧，用于向两个所述霍尔离子源提供电子。

3.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，还包括：阳极供电模块，用于分别向各个所述霍尔离子源提供电源，其中，各个所述霍尔离子源以串联形式接入所述阳极供电模块。

4.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，还包括：与各个霍尔离子源的进气口连接的供气管道；其中，各个所述霍尔离子源的进气口前安装有流量阀，所述流量阀用于对气体进行流量控制。

5.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，还包括：可伸缩的支架；所述支架的一端设有安装底座，另一端连接所述基座。

6.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，所述霍尔离子源通过角度调节机构安装在基座上，所述霍尔离子源通过角度调节机构进行转动，调整霍尔离子源的角度。

7.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，所述中空阴极通过旋转接头安装在基座上，所述霍尔离子源通过所述旋转接头进行自由转动，调整电子发射方向。

8.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，还包括：循环水冷回路；其中，各个霍尔离子源的水冷回路串联接入所述循环水冷回路中。

9.根据权利要求6和7所述的离子源装置，其特征在于，所述角度调节机构通过内设的电机进行驱动转动角度，所述旋转接头通过内设的电机进行驱动调整方向。

10.根据权利要求4和9所述的离子源装置，其特征在于，还包括分别连接所述流量阀、角度调节机构和旋转接头的控制器；

所述控制器，用于调整所述流量阀的流量大小，控制角度调节机构以调整各个霍尔离子源的覆盖方向，和/或控制所述旋转接头的转向以控制中空阴极的电子发射方向。