[发明专利]一种棱镜型干涉测量装置

权利要求书

1.一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，包括入射光、棱镜型光路结构、偏振片(P3)、光电接收器(C1)，所述棱镜型光路结构由一对45度等腰梯形棱镜(P1、P2)在长底面对接形成、且对接面中间镀多层电介质膜界面(3)，所述等腰梯形棱镜(P1、P2)的侧表面为镀防反射膜的入/出射光平面(101、103、201、203)，所述入射光B_in垂直入射且通过入射光平面后在界面(3)分光形成垂直于XOZ平面振动的偏振光束(B2)和平行于XOZ平面振动的偏振光束(B1)，所述垂直于XOZ平面振动的偏振光束(B2)和平行于XOZ平面振动的偏振光束(B1)分别经短底面(102、202)反射后汇聚于界面(3)并形成出射光B_out；所述出射光B_out经偏振片(P3)后形成干涉信号，所述干涉信号通过光电接收器件(C1)接收；所述偏振片(P3)和光电接收器(C1)的受光平面垂直于出射光B_out且置于出射光B_out的延长线上。

2.根据权利要求1所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述等腰梯形棱镜的高度为a、宽度为b，a、b的尺寸均大于光斑直径；所述多层电介质膜界面的长边长为4a；所述偏振片(P3)的平面垂直于出射光B_out且偏振片(P3)的偏振方向为偏振夹角β且β≠0°、90°及其倍数。

3.根据权利要求1所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述45度等腰梯形棱镜的腰所在斜面为入射光平面或出射光平面(101、201、103、203)，所述入射光Bin从入射光平面射入或同一棱镜对应的出射光平面射入，所述出射光Bout从出射光平面出射或同一棱镜对应的入射光平面出射。

4.根据权利要求1所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述等腰梯形棱镜材料为折射率大于空气折射率的光学玻璃、石英、电光材料光学材料。

5.根据权利要求4所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述电光材料的棱镜在入/出射光平面(E101、E102、E201、E202)镀有透明电极E，通过外加电场实现对入射棱镜的两路偏振光的相位同时或分别调制后经偏振片(P3)形成光强被周期性调制的干涉光信号，所述干涉信号被光电接收器件(C1)接收。

6.根据权利要求1所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述入射光为线偏振光或椭圆偏振光或非偏振光，所述线偏振光偏振方向与XOZ面设有角度；所述垂直于XOZ平面振动的偏振光束(B2)和平行于XOZ平面振动的偏振光束(B 1)在棱镜内的光程相同。

7.根据权利要求1所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述多层电介质膜界面对入射光设有分光比例。

8.根据权利要求7所述的一种棱镜型干涉测量装置，其特征在于，所述多层电介质膜界面对入射光比为1:1或1:2或1:3。