[发明专利]一种酸性含铜刻蚀液处理方法及系统在审

专利信息
申请号: 202010660864.1 申请日: 2020-07-10
公开(公告)号: CN111943423A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 康传海;沈彦志;牟凯丽;初沙沙;张磊;董超;高雨晴 申请(专利权)人: 山东东顺环保科技有限公司
主分类号: C02F9/10 分类号: C02F9/10;C01G3/10;C02F101/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文
地址: 264400 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 酸性 刻蚀 处理 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)将酸性含铜刻蚀液调节pH为0.08~0.12,加入氧化剂氧化酸性含铜刻蚀液中的铜为二价铜离子,得到混合体系A;

(2)向所述混合体系A中加入碱调节混合体系A的pH为7.5~8将混合体系A中的二价铜离子转化为氢氧化铜沉淀;固液分离得到固体沉淀和上清液;

(3)用硫酸溶液溶解步骤(2)得到的固体沉淀得到混合体系B;

(4)将混合体系B进行结晶,得到固态硫酸铜;

(5)将步骤(4)中混合体系B结晶后产生的废水进行三效蒸发脱盐处理得到冷凝液和结晶盐。

2.根据权利要求1所述的酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述步骤(1)中,将酸性含铜刻蚀液加质量浓度20%~30%的盐酸调节pH,所述氧化剂为氯酸钠。

3.根据权利要求1所述的酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述步骤(1)中,在调节所述酸性含铜刻蚀液的pH之前对所述酸性含铜刻蚀液进行固体除杂预处理和除油预处理,所述固体除杂预处理产生的废渣通过焚烧处理或者填埋处理。

4.根据权利要求1所述的酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述上清液经污水处理装置处理后达标排放。

5.根据权利要求1所述的酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述步骤(3)中,用硫酸溶液溶解步骤(2)得到的固体沉淀过程中产生的酸性气体经过废气处理装置处理达标后排放,所述硫酸溶液的质量浓度为90%~98%。

6.根据权利要求1所述的酸性含铜刻蚀液处理方法,其特征在于,所述步骤(5)中,所述结晶盐进行填埋处理,所述冷凝液经污水处理装置处理达标后排放。

7.一种酸性含铜刻蚀液处理系统,其特征在于,所述酸性含铜刻蚀液处理系统包括依次管路连通的固液分离装置、油水分离装置、反应槽和压滤装置,所述压滤装置具有液体出口和固体出口,所述压滤装置的固体出口下方设置有酸溶槽,所述酸溶槽依次和结晶装置、三效蒸发装置管路连通。

8.根据权利要求7所述的酸性含铜刻蚀液处理系统,其特征在于,所述酸性含铜刻蚀液处理系统还包括污水处理装置,所述污水处理装置的进液口与所述压滤装置的排液口管路连通,所述污水处理装置的进液口与所述三效蒸发装置的冷凝液出口管路连通。

9.根据权利要求7所述的酸性含铜刻蚀液处理系统,其特征在于,所述反应槽设置有加料斗,所述反应槽内设置有搅拌装置。

10.根据权利要求7所述的酸性含铜刻蚀液处理系统,其特征在于,所述酸性含铜刻蚀液处理系统还包括废气处理装置,所述酸溶槽为密闭装置,所述酸溶槽的上方设置有排气口,所述酸溶槽的排气口与所述废气处理装置管路连通。

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