[发明专利]一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法

权利要求书

1.一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一、利用激光清洗机器人对着待清洗工件表面进行激光清洗，根据待清洗工件表面的待清洗区域在激光清洗机器人上设置激光清洗轨迹，按照激光清洗轨迹对待清洗区域进行激光清洗；

步骤二、在激光清洗过程中，激光清洗机器人的机械臂以蛇形轨迹对着待清洗区域进行扫描，设定扫描速度5-6mm/s；

步骤三、利用尾气检测和净化装置对激光清洗过程中产生的尾气进行检测和净化，在检测过程中使用红外线气体分析仪对尾气中的碳元素含量进行检测、分析得到实测值；

步骤四、当激光清洗机器人的机械臂对待清洗区域完成一遍扫描清洗之后，重复进行扫描清洗直至实测值小于或等于设定值时为止；

所述激光清洗机器人包括六轴机器人、激光器，所述激光器安装在六轴机器人中机械臂的尾端，所述六轴机器人中机械臂的尾端还安装有用来收集激光清洗尾气的收集罩，所述收集罩套设在激光器的外部；所述尾气检测和净化装置包括软管、尾气捕捉管、一级净化器、二级净化器、真空泵、红外线气体分析仪，所述收集罩的尾部设置有气孔，所述软管的尾端与气孔连通；所述尾气捕捉管包括第一管道、第二管道，所述第一管道包括第一管单元，所述第一管单元包括第一管体，所述第一管体的两端分别设置有封头一，所述封头一的内壁为半球状结构；所述第一管道还包括第一锥管，其中一个封头一的中部设置有第一通孔，另外一个封头一的中部设置有第二通孔，所述第一锥管的大端与第一通孔连通，所述尾气捕捉管还包括与第一锥管小端相连通的第一圆管，所述第一圆管与软管的首端连通；所述第二管道包括第二管单元，所述第二管单元包括第二管体，所述第二管体的两端分别设置有封头二，所述封头二的内壁为半球状结构；所述第二管道还包括第二锥管，其中一个封头二的中部设置有第三通孔，另外一个封头二的中部设置有第四通孔，所述第二锥管的大端与第三通孔连通，所述尾气捕捉管还包括与第四通孔相连通的第二圆管，所述第二锥管的小端和第二通孔之间设置有第一连管，所述第一连管的一端与第二锥管的小端连通，所述第一连管的另一端与第二通孔连通；所述第一管道的内部设置有第一弹性球，所述第二管道的内部设置有第二弹性球，所述第一弹性球和第二弹性球之间设置有连杆，所述连杆的一端与第一弹性球固定连接，所述连杆的一端与第二弹性球固定连接；所述第一圆管和第一弹性球之间设置有第一圆柱螺旋弹簧，所述第一圆柱螺旋弹簧的一端与第一弹性球固定连接，所述第一圆柱螺旋弹簧的另一端与第一圆管的内壁固定连接；红外线气体分析仪中的采样探头用来对第一管体内部的气体进行采样，所述真空泵的抽气端与二级净化器的输出端连通，所述二级净化器的输入端与一级净化器的输出端连通，所述一级净化器的输入端与第二圆管连通。

2.根据权利要求1所述的一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法，其特征在于：所述一级净化器包括第一罐体、安装在第一罐体灌口处的第一罐盖、L形第二连管、n形第三连管，所述第一罐盖与第一罐体的灌口密封连接，所述第二连管的首端设置在第一罐体的外部，所述第二连管的首端与第二圆管连通，所述第二连管的尾端设置在第一罐体的内部，所述第一罐体的内部装有将第二连管尾端淹没的清洗液，第一罐体内部清洗液的液面与第一罐盖之间设置有间距，所述第一罐盖处安装有与第一罐体内腔相连通的第一排空阀、与第一罐体内腔相连通的第一进液阀，所述第一罐盖处还设置有第五通孔，所述第三连管的首端与第五通孔连通，所述第一罐体的罐底安装有与第一罐体内腔相连通的第一排污阀；所述二级净化器包括第二罐体、安装在第二罐体灌口处的第二罐盖、第四连管、pH计，所述第二罐盖与第二罐体的灌口密封连接，所述第三连管的尾端设置在第二罐体的内部，所述第二罐体的内部装有将第三连管尾端淹没的清洗液，第二罐体内部清洗液的液面与第二罐盖之间设置有间距，所述第二罐盖处安装有与第二罐体内腔相连通的第二排空阀、与第二罐体内腔相连通的第二进液阀，所述第二罐盖处还设置有第六通孔，所述第四连管的首端与第六通孔连通，所述第四连管的尾端与真空泵的抽气端连通，pH计的pH电极设置在第二罐体的内部且pH电极的末端被第二罐体内部的清洗液淹没，所述第二罐体的罐底安装有与第二罐体内腔相连通的第二排污阀。