[发明专利]一种共聚焦显微镜在审
申请号: | 202010662762.3 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN111638596A | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 杨凌彦 | 申请(专利权)人: | 宁波蔡康光电科技有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 李阳 |
地址: | 315000 浙江省宁波市慈溪市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 聚焦 显微镜 | ||
1.一种共聚焦显微镜,其特征在于:包括激光器、第一准直透镜、第一半透半反镜、扫描成像单元、对焦单元、第二准直透镜、探测单元;
所述激光器包括入射光纤;
所述第一准直透镜用于将入射激光调束成平行光束;
所述第一半透半反镜用于透射入射激光和反射信号激光;
所述扫描成像单元包括沿入射激光路径依次设置的扫描振镜、扫描透镜、第二半透半反镜、管透镜和物镜,所述第二半透半反镜用于透射入射激光和信号激光、以及用于反射从样品表面散射的照明光;
所述对焦单元包括沿第二半透半反镜的反射光路依次设置的聚焦透镜和CCD相机;
所述第二准直透镜用于将从所述第一半透半反镜上反射的信号激光调束成平行光束;
所述探测单元用于探测反射激光信号。
2.根据权利要求1所述的一种共聚焦显微镜,其特征在于:所述探测单元包括出射光纤,所述出射光纤为多模光纤。
3.根据权利要求1所述的一种共聚焦显微镜,其特征在于:所述照明光由照明光源提供,所述照明光源为LED。
4.根据权利要求1所述的一种共聚焦显微镜,其特征在于:所述物镜安装在电动三轴转台上。
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