[发明专利]用于马兰戈尼干燥的喷嘴及晶圆后处理装置

权利要求书

1.一种用于马兰戈尼干燥的喷嘴，其特征在于，包括设于所述喷嘴内部的用于气体流通的腔室和包围所述腔室的喷嘴壁；

所述腔室贯通位于所述喷嘴两端的进气口和出气口，所述腔室包括窄径腔、第一过渡腔和宽径腔，所述窄径腔连通所述进气口，所述宽径腔连通所述出气口，所述第一过渡腔连接在窄径腔和宽径腔之间以实现贯通，所述窄径腔的平均内径小于所述宽径腔的平均内径，并且所述第一过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐增大，以对流经所述喷嘴的气体进行整束并使其减速；

所述宽径腔为圆柱状，宽径腔的内侧壁与喷嘴中轴线平行，宽径腔用于抑制空气倒灌；

并且，所述第一过渡腔为截锥状，第一过渡腔的轴与喷嘴中轴线重合，第一过渡腔的母线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80°；

所述喷嘴通过所述腔室输送干燥气体并喷射至晶圆表面以实现马兰戈尼干燥，所述干燥气体为具有表面活性的有机物蒸汽；

所述宽径腔的平均内径比所述窄径腔的平均内径大4-16mm，以降低出气口喷射的气流速度从而降低射出的气体柱与周围空气之间的压强梯度进而减少喷嘴所喷射的干燥气体与周围环境气体的掺混；

所述喷嘴的全部内表面和外表面均涂覆有疏水涂层。

2.如权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述第一过渡腔包括至少两个阶梯段，其中，相邻的两个阶梯段的内侧壁与喷嘴中轴线的夹角不相同。

3.如权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述第一过渡腔的起始点与终点的连线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80°。

4.如权利要求1至3中任一项所述的喷嘴，其特征在于，所述腔室还包括进气腔和第二过渡腔，所述进气腔和第二过渡腔依次连接在所述进气口和窄径腔之间，所述进气腔的平均内径大于所述窄径腔的平均内径，所述第二过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐减小。

5. 如权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述第二过渡腔为截锥状，第二过渡腔的轴与喷嘴中轴线重合，第二过渡腔的母线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80° 。

6.一种晶圆后处理装置，包括：用于旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体；

所述供给臂可平行于晶圆平面摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴组件将流体供应至晶圆上；

所述喷嘴组件包括具有喷嘴的第一喷嘴臂和第二喷嘴臂，所述第一喷嘴臂和第二喷嘴臂沿所述供给臂延长，可旋转地固定配置于所述供给臂的自由端；所述第一喷嘴臂位于第二喷嘴臂下方，所述第一喷嘴臂具有一个喷嘴并且第二喷嘴臂具有两个喷嘴；并且所述第二喷嘴臂的喷嘴中的至少一个形成为如权利要求1-5中任一项所述的喷嘴。

7.如权利要求6所述的晶圆后处理装置，其特征在于，所述第二喷嘴臂的喷嘴设置成朝所述驱动机构的转动方向回勾或前探倾斜。

8.如权利要求7所述的晶圆后处理装置，其特征在于，所述第二喷嘴臂的喷嘴设置成与所述第二喷嘴臂的轴线呈0°至85°的夹角。

9.如权利要求8所述的晶圆后处理装置，其特征在于，所述第二喷嘴臂的喷嘴设置成与所述第二喷嘴臂的轴线呈10°至50°的夹角。

10.如权利要求6至9中任一项所述的晶圆后处理装置，其特征在于，所述第一喷嘴臂相对于使其喷嘴垂直于晶圆所在平面的定向绕其轴线朝下倾斜0°至50°。