[发明专利]一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片及其加工工艺

权利要求书

1.一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片，其特征在于：硫系化合物玻璃镜片的表面由内至外依次设置第一抗污染膜层、第一氟化钇膜层、第二抗污染膜层、第二氟化钇膜层、第三抗污染膜层和加硬膜层。

2.根据权利要求1所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片，其特征在于：第一抗污染膜层的厚度为205～215nm，第一氟化钇膜层的厚度为310～330nm，第二抗污染膜层的厚度为618～633nm，第二氟化钇膜层的厚度为1178～1930nm，第三抗污染膜层的厚度为69～88nm，加硬膜层的厚度为300～460nm。

3.权利要求1所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：

1)镀制增透膜：在待镀的硫系化合物玻璃镜片表面依次蒸镀第一抗污染膜、第一氟化钇膜、第二抗污染膜、第二氟化钇膜和第三抗污染膜，得到镀AR膜的基片；

2)镀制加硬膜：将镀AR膜的基片置于沉积设备中，在真空条件下，通入无机气体清洗基片，再通入烷烃气体进行射频辉光放电，解离的烷烃气体在镀AR膜的基片表面沉积形成加硬膜层，制成镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片。

4.根据权利要求3所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，沉积设备为碳膜机。

5.根据权利要求3所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，无机气体的通入量为20～40sccm。

6.根据权利要求5所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，无机气体为氩气。

7.根据权利要求3所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，烷烃气体的通入量为30～50sccm。

8.根据权利要求7所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，烷烃气体为C4H10。

9.根据权利要求3所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，加硬膜沉积的时间为300～600秒。

10.根据权利要求3所述的一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，其特征在于：步骤2)中，通入无机气体前体系的气体压力小于3×10-3Pa，通入无机气体清洗时体系的气体压力为3～6Pa，通入烷烃气体沉积时体系的气体压力为8～20Pa。