[发明专利]光阴极微波电子枪有效
申请号: | 202010664695.9 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN111769017B | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 李任恺;黄鹏玮;杜应超;郑连敏;唐传祥;黄文会;陈怀璧;施嘉儒 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01J3/02 | 分类号: | H01J3/02 |
代理公司: | 北京卓孚律师事务所 11821 | 代理人: | 任宇 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阴极 微波 电子枪 | ||
1.一种光阴极微波电子枪,该光阴极微波电子枪包括:
若干加速腔,所述加速腔沿轴线相互连通,所述加速腔包含一个半腔(111)和若干整腔(101);
光阴极,所述光阴极布置在所述加速腔的轴线上;和
波导管(102),所述波导管(102)与所述加速腔相连通,
其特征在于,所述微波电子枪还包括:
阴极盘(121),所述阴极盘(121)的盘面中心容纳所述光阴极,所述阴极盘(121)的围绕盘面中心的位置处设有若干真空通道(123),每个所述真空通道(123)连通所述阴极盘(121)的盘面两侧;
真空腔(131),所述真空腔(131)和所述加速腔分别连接在所述阴极盘(121)的盘面两侧,通过所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)相互连通,
其中,所述阴极盘(121)形成所述半腔(111)的底面,使得阴极面与所述阴极盘(121)的盘面在正常工作状态下处于同一平面。
2.根据权利要求1所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述加速腔包含一个半腔(111)和一个整腔(101)。
3.根据权利要求1或2任一项所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)具有在所述阴极盘(121)的盘面区域内整体都布置在所述阴极盘(121)内部的若干冷却管(124)。
4.根据权利要求3所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述冷却管(124)是通过在所述阴极盘(121)内部钻孔或一体铸造的方式形成的。
5.根据权利要求4所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)的每条冷却管(124)由与所述阴极盘(121)的外周相连通的两条相互垂直的连通管道构成,分布在所述阴极盘(121)的盘面上的所述真空通道(123)之间。
6.根据权利要求1或2所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述真空腔(131)被设计为适于从侧面插入多个吸气泵,在所述吸气泵插入的情况下,所述真空腔(131)的中央仍留有能使带有阴极插头的磁力杆穿过的空间。
7.根据权利要求1或2所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述加速腔的整腔(101)通过微波孔与所述波导管(102)相连通,并且所述加速腔在所述微波孔的直径对侧还具有真空孔(104),所述真空孔(104)能够直接或间接地与真空泵(133)相连通。
8.根据权利要求7所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,在所述加速腔的整腔(101)的外周上所述真空孔(104)和所述微波孔之间的位置处布置有四极孔,所述四极孔的外接管道(103)内布置有吸气泵。
9.根据权利要求8所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述四极孔与所述吸气泵之间具有管径增大的中段(106)。
10.根据权利要求1或2所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述加速腔侧面设有可供激光射入所述加速腔的激光孔(105)。
11.根据权利要求1或2所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)的厚度选择为使得所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)的靠近所述真空腔(131)的末端的微波场基本可以忽略。
12.根据权利要求11所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)的厚度为20毫米。
13.根据权利要求1所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)上的所述真空通道(123)呈圆通孔状,且圆周对称地分布于所述阴极盘(121)的在所述加速腔的内壁内侧靠近所述加速腔的内壁的边缘区域。
14.根据权利要求1所述的光阴极微波电子枪,其特征在于,所述阴极盘(121)设有与半导体阴极对应的标准阴极插头相匹配的结构,以使得作为所述光阴极的半导体阴极能够插接到所述阴极盘(121)上。
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