[发明专利]MEMS扬声器

权利要求书

1.MEMS扬声器，其特征在于，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极；

所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层，所述导电层和所述绝缘层交替叠层设置以使每两层所述导电层之间夹设一层所述绝缘层，所述驱动电极部设有贯穿所有所述导电层和所有所述绝缘层的分隔槽以将所述驱动电极部分隔为动电极部和静电极部，所述动电极部与所述振膜相对固定，所述静电极部与所述基座相对固定；

所述驱动电极包括形成于所述动电极部的至少一个动电极和形成于所述静电极部的至少一个静电极，每个所述动电极至少由两层所述导电层电连接形成，每个所述静电极至少由两层所述导电层电连接形成，至少有一层所述导电层既用于形成所述动电极又用于形成所述静电极，至少有一层所述导电层用于形成所述动电极但不用于形成所述静电极，至少有一层所述导电层用于形成所述静电极但不用于形成所述动电极。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动电极部至少包括四层所述导电层，所述动电极和所述静电极中一者包括沿上下方向排布且电隔离的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极用于连接差分信号。

3.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动电极部包括四层所述导电层，所述第一电极形成于上侧的两层导电层，所述第二电极形成于下侧的两层导电层，所述静电极形成于中间的两层导电层。

4.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述动电极和所述静电极中一者包括沿垂直于所述振膜振动方向的方向排布且电隔离的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极用于连接差分信号。

5.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述动电极和所述静电极中另一者包括沿垂直于所述振膜振动方向的方向排布且电隔离的第三电极和第四电极，所述第三电极与所述第一电极配合相对，所述第四电极与所述第二电极配合相对，且所述第三电极和所述第四电极电连接。

6.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述导电部上设置有若干切槽以分隔所述第一电极和所述第二电极，分隔所述第三电极和所述第四电极。

7.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动电极部包括三层导电层，所述第一电极由上侧两层导电层形成，所述第二电极由下侧两层导电层形成，所述第三电极由下侧两层导电层形成，所述第四电极由上侧两层导电层形成。

8.根据权利要求2或4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的数量相等。

9.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述分隔槽为齿形槽。

10.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振膜包括位于中心区域的振动部以及位于所述振动部周缘的固定部，所述MEMS扬声器还包括位于所述驱动电极部与所述振膜之间的连接部，所述连接部包括间隔设置的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部用于连接所述静电极部和所述固定部，所述第二连接部用于连接所述动电极部和所述振动部。

11.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振动部包括位于中心的球顶部以及位于所述球顶部周缘的折环部，所述第二连接部用于连接所述球顶部和所述动电极部。

12.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述静电极部包括与所述基座固定的固定端以及位于所述固定端内侧的用于形成所述静电极的电极端，所述第一连接部用于连接所述固定端和所述固定部。

13.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述基座的中心开设有空腔，所述驱动电极部的中心开设有与所述空腔连通的第一通孔，所述连接部的中心开设有与所述第一通孔连通的第二通孔。