[发明专利]一种具有微纳米形态模具的加工方法

权利要求书

1.一种具有微纳米形态模具的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）粉煤灰基疏水涂料制备：以超细粉煤灰、马来酸酐、硅烷偶联剂、乙醇为原料制成粉煤灰基疏水涂料；

（2）采用丙酮清洗硅模板表面，然后再将硅模板放入到浓硫酸与双氧水混合溶液中，加热至70-80℃，保温10min，然后取出，清水洗涤至中性，烘干至恒重；

（3）将上述处理后的硅模板得到硅母版的表面进行清理，清理之后再使用清水对硅母版进行冲洗，冲洗之后放入在烘干箱的内部进行烘干，表面进行喷涂粉煤灰基疏水涂料，然后再在真空环境下进行干燥，得到母版；

（4）根据模具的尺寸需求，通过光刻机对上述得到的母版表面进行光刻处理，得到光刻母版；

（5）向光刻母版表面喷涂硅烷偶联剂与纳米二氧化硅混合物，然后固化，形成一层覆盖膜；

（6）向光刻母版中加入高分子材料，高分子材料经过干燥固化后，制成模具，即得带有微纳米形态模具。

2.根据权利要求1所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法，其特征在于：所述粉煤灰基疏水涂料制备的方法为：

将硅烷偶联剂溶解到乙醇中，然后搅拌均匀后，得到硅烷偶联剂溶液，再向硅烷偶联剂溶液中添加马来酸酐和超细粉煤灰，超声波处理10min，即得；

所述硅烷偶联剂采用乙烯基三乙氧基硅烷；

所述乙醇为无水乙醇。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法，其特征在于：所述超细粉煤灰、马来酸酐、乙烯基三乙氧基硅烷、乙醇重量份比为:20-30:4：15:45；

所述超细粉煤灰粒度为1200目。

4.根据权利要求2所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法，其特征在于：所述超声波频率为60kHz，功率为600W。

5.根据权利要求1述的一种具有微纳米形态模具的加工方法 ，其特征在于：所述浓硫酸与双氧水混合溶液中浓硫酸质量分数为1.2%；

所述双氧水质量分数为5%。

6.根据权利要求1或5所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法，其特征在于：所述真空环境下进行干燥中真空度为0.02MPa；

所述干燥温度为55℃。

7.根据权利要求1所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法 ，其特征在于：所述硅烷偶联剂与纳米二氧化硅混合物中硅烷偶联剂与纳米二氧化硅质量比为15:1；

其中硅烷偶联剂采用氨丙基三乙氧基硅烷。

8.根据权利要求1所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法 ，其特征在于：所述高分子材料为环氧树脂。

9.根据权利要求8所述的一种具有微纳米形态模具的加工方法 ，其特征在于：所述环氧树脂固化剂采用三乙烯四胺；

所述三乙烯四胺与环氧树脂混合质量比为1:20；

所述固化温度为100℃。