[发明专利]一种石英毛细管低温等离子体臭氧发生器在审
申请号: | 202010665883.3 | 申请日: | 2020-07-12 |
公开(公告)号: | CN111908427A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 张伟;张正韬 | 申请(专利权)人: | 上海置中环保科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B13/11 | 分类号: | C01B13/11;A61L2/14;A61L2/20;A61L9/22;A61L9/015;A61L101/10 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 曾敬 |
地址: | 200135 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 毛细管 低温 等离子体 臭氧发生器 | ||
1.一种石英毛细管低温等离子体臭氧发生器,其特征在于,包括两个并排设置的同轴圆筒电极,所述同轴圆筒电极的外壁为石英介质,所述同轴圆筒电极的内部填充有合金电极材料,所述石英介质和所述合金电极材料同轴无缝隙设置。
2.根据权利要求1所述的石英毛细管低温等离子体臭氧发生器,其特征在于,两个所述同轴圆筒电极平行设置,构成介质阻挡放电。
3.根据权利要求2所述的石英毛细管低温等离子体臭氧发生器,其特征在于,所述同轴圆筒电极的一端由石英介质封闭,另一端延伸至所述同轴圆筒电极的外侧与电源连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的石英毛细管低温等离子体臭氧发生器,其特征在于,所述合金电极材料为钛合金。
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