[发明专利]一种小压力的高精度脉冲加热邦定装置及邦定方法在审

专利信息
申请号: 202010665884.8 申请日: 2020-07-12
公开(公告)号: CN111640700A 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 魏静;田辉;冯艳江;王国昌;杜振鑫;孟祥生;饶钦;杨宝春;赵莹;菅卫娟;林斌;赵燕;潘强强 申请(专利权)人: 中电科风华信息装备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/60;H01L23/49
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 代理人: 朱源
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 压力 高精度 脉冲 加热 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种小压力的高精度脉冲加热邦定装置,其特征在于:包括机架(1),机架(1)上固定有伺服电机(2)和竖直布置的滑轨(3),伺服电机(2)传动连接有丝杠副,伺服电机(2)驱动丝杠副的丝杆(4)旋转,滑轨(3)滑动嵌装有上滑块(6)和下滑块(7),丝杠副的丝母(5)与上滑块(6)固连,上滑块(6)上固定有气缸(8),气缸(8)的活塞杆(9)竖直朝下且固连下滑块(7),活塞杆(9)下端安装有邦定头(10),气缸(8)连接有控制其开闭的电磁阀和控制其预设压力大小的电气比例阀,气缸(8)的活塞杆(9)处于最大伸长状态;还包括控制器,控制器连接电磁阀、电气比例阀和伺服电机(2)。

2.一种如权利要求1所述的邦定装置的邦定方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、打开气缸的电磁阀,并通过电气比例阀给气缸(8)预设一个压力F1,F1保证气缸(8)在启动时活塞杆(9)能够克服下滑块(7)与滑轨(3)之间的最大静摩擦力,始终处于最长伸长状态,不会回缩;

S2、控制伺服电机(2)动作,使上滑块(6)和下滑块(7)皆以速度V1沿滑轨(3)向下滑动;

S3、在下滑块(7)开始滑动后邦定头(10)接触产品前将气缸(8)的预设力减小至F2, F2对应邦定压力设置;

S4、在邦定头(10)距离产品3-5mm时,控制伺服电机(2)动作,将速度V1减小至V2,V2和F2保证邦定头(10)在刚接触产品时的瞬间压力小于产品能承受的最大邦定压力,保持V2和F2使邦定头(10)继续向下运动直至邦定头(10)完全贴合产品表面时伺服电机(2)停止动作,邦定头(10)以所需邦定压力进行邦定;

S5、邦定完成后,控制气缸(8)、伺服电机(2)复位,等待下次邦定。

3.根据权利要求2所述的邦定方法,其特征在于:电气比例阀采用电流控制。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中电科风华信息装备股份有限公司,未经中电科风华信息装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010665884.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top