[发明专利]连续法制备电子级氢氟酸的方法及系统

权利要求书

1.连续法制备电子级氢氟酸的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)一级精馏：将脱砷后的氟化氢液体通入一级精馏塔，通过一级再沸器进行加热气化，气化后的氟化氢在一级精馏塔内进行气液相传热、传质与分离，利用氟化氢中各物质的沸点不同，各类重组分离子杂质在塔底富集，并排入残液罐内；经过一级净化提纯后的氟化氢气体在一级冷凝器内被冷凝成液体，不凝性气体排入尾气处理系统；

(2)二级精馏：经一级精馏后的氟化氢液体进入二级精馏塔，经过二级再沸器进行加热气化，气化后的氟化氢在二级精馏塔4内进行气液相传热、传质与分离，一级精馏未去除的各类离子杂质在塔底富集，并排入残液罐内；再次净化提纯后的氟化氢气体进入二级冷凝器，在二级冷凝器内，氟化氢气体部分冷凝并回流至二级精馏塔内，其余的氟化氢气体进入吸收塔；

(3)吸收：经二次精馏后的氟化氢气体从下部进入吸收塔，用电子级超纯水进行吸收，吸收液通过循环泵输送至吸收塔中部，由分布器向下喷淋吸收，塔顶用电子级超纯水再次进行吸收；氟化氢气体向塔顶上升，气液两相在填料表面上进行逆流溶解吸收，吸收溶解热由液相带出，进入吸收塔底部，通过循环泵输送至冷却器降温后，再次从塔中部进入塔内喷淋吸收，如此循环往复；

(4)过滤：从吸收塔排出的氢氟酸水溶液，经过过滤后，得到合格的UPSS级氢氟酸水溶液。

2.如权利要求1所述的连续法制备电子级氢氟酸的方法，其特征在于：步骤(3)中，吸收液的循环管上设置有在线酸浓仪。

3.如权利要求2所述的连续法制备电子级氢氟酸的方法，其特征在于：步骤(1)中氟化氢液体不间断地输入一级精馏塔内，步骤(3)中超纯水连续不间断地输入吸收塔内，步骤(4)中UPSS级氢氟酸连续不间断地从装置中输出。

4.如权利要求1所述的连续法制备电子级氢氟酸的方法，其特征在于：步骤(3)中，电子级超纯水的电阻值≥18.2MΩ·cm。

5.连续法制备电子级氢氟酸的系统，其特征在于，包括：

一级精馏塔，用于原料氟化氢液体的一级精馏；

一级再沸器，与所述一级精馏塔的底部连接，用于原料氟化氢液体的加热气化；

一级冷凝器，与所述一级精馏塔的顶部连接，用于经一级精馏塔净化提纯后的氟化氢气体的冷凝；

二级精馏塔，与所述一级冷凝器的底部连接，用于经一级精馏后的氟化氢液体的再次精馏；

二级再沸器，与所述二级精馏塔的底部连接，用于经一级精馏后的氟化氢液体的加热气化；

二级冷凝器，与所述二级精馏塔的顶部连接，用于经二级精馏塔再次净化提纯后的部分氟化氢气体的冷凝，这部分冷凝的氟化氢气体回流至二级精馏塔内；

吸收塔，与所述二级冷凝器的底部连接，用于吸收经二次精馏后的氟化氢气体；

循环冷却装置，与所述吸收塔连接，用于吸收塔内吸收液的循环冷却；

过滤装置，用于过滤从吸收塔排出的氢氟酸水溶液；

残液罐，与所述一级精馏塔、二级精馏塔的底部分别相连接，用于储存从一级精馏塔、二级精馏塔排出的残液。

6.如权利要求5所述的连续法制备电子级氢氟酸的系统，其特征在于：所述吸收塔内设置有两段填料与喷淋吸收管，下段采用氢氟酸吸收；上段采用超纯水进行二次吸收。

7.如权利要求5所述的连续法制备电子级氢氟酸的系统，其特征在于：所述循环冷却装置包括与所述吸收塔底部连接的循环泵、与循环泵出口连接的冷却器。

8.如权利要求5所述的连续法制备电子级氢氟酸的系统，其特征在于：所述过滤装置包括一级过滤器和二级过滤器。