[发明专利]用于激光器全反镜的调节装置、谐振腔组件及激光器

权利要求书

1.一种用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，包括：

基座，所述基座的配合端面具有第一配合部；

调节部件，全反镜设于所述调节部件，所述调节部件与所述基座可活动地连接，所述调节部件朝向所述配合端面的一端设有第二配合部，所述第二配合部与所述第一配合部可转动地球面配合，以使所述调节部件带动所述全反镜进行角度调节。

2.根据权利要求1所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述配合端面局部凹陷形成所述第一配合部，所述第一配合部为半球形凹面；

所述第二配合部为设于所述调节部件的朝向所述配合端面的一端的半球形凸块。

3.根据权利要求1所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述调节部件包括：

主体部，所述主体部为圆柱形，所述主体部具有轴向方向贯通的通孔，所述全反镜设于所述主体部的通孔内，所述第二配合部部位于所述主体部的朝向所述配合端面的一端，所述第二配合部具有与所述通孔相对的通光孔。

4.根据权利要求3所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述调节部件还包括：

装配部，所述装配部设于所述主体部的外周壁上，所述装配部设有第一装配孔，所述基座设有与所述第一装配孔对应的第二装配孔，所述调节部件和所述基座通过紧固件穿过所述第一装配孔和所述第二装配孔连接。

5.根据权利要求4所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述装配部为多个，多个所述装配部沿所述主体部的周向方向间隔设置。

6.根据权利要求4所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述装配部为四个，任意相邻的两个所述装配部沿所述主体部的周向方向的夹角为90°。

7.根据权利要求4所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述第二配合部与所述装配部沿所述主体部的轴向方向间隔设置，所述主体部的外径小于所述第二配合部的半径。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于激光器全反镜的调节装置，其特征在于，所述调节部件和所述基座为可伐合金件。

9.一种用于激光器的谐振腔组件，其特征在于，包括依次排布设置的：全反镜组件、调Q晶体、工作物质和输出镜组件，

所述全反镜组件包括全反镜和根据权利要求1-8中任一项所述的用于激光器全反镜的调节装置，所述全反镜设于所述调节装置的调节部件内，所述调节部件可带动所述全反镜进行角度调节。

10.一种激光器，其特征在于，包括：谐振腔组件，所述谐振腔组件为根据权利要求9所述的用于激光器的谐振腔组件。