[发明专利]一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座

权利要求书

1.一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，包括支撑板A（1），其特征在于：所述支撑板A（1）顶部两侧对称设置有仓体（3），所述仓体（3）内底部设置有弹簧A（2），所述弹簧A（2）的顶部设置有支撑杆A（4），所述支撑杆A（4）的顶部设置有支撑板B（5），两组所述支撑板B（5）相互靠近的一侧设置有支撑杆B（11），所述支撑杆B（11）外侧的两侧对称设置有弹簧B（12），所述支撑板B（5）外侧的中间位置处对称设置有滑块（13），所述支撑板B（5）的顶部设置有支撑板C（6），所述支撑板C（6）的顶部设置有底座（7），所述底座（7）内底部的设置有多组固定销（10），所述底座（7）内部的底部设置有多组坩埚座（8），所述坩埚座（8）底部的中间位置处设置有固定孔（9），所述支撑板A（1）顶部中间位置处对称设置有支撑柱（15），所述支撑柱（15）的顶部设置有齿轮（14），所述坩埚座（8）一端的顶部设置有紧固圈（16）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，其特征在于：所述固定孔（9）与固定销（10）相互卡合。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，其特征在于：所述滑块（13）的底部设置有齿条，且齿轮与齿轮（14）相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，其特征在于：所述紧固圈（16）一端的一侧设置有卡勾（18），所述紧固圈（16）的另一端设置有卡扣（17），且卡勾（18）与卡扣（17）相互适配。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，其特征在于：所述卡扣（17）的手持处设置有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，其特征在于：所述支撑杆A（4）的底部设置有限位板。