[发明专利]分体式电子束偏转线圈及电子束设备

权利要求书

1.一种分体式电子束偏转线圈，用于电子束的偏转，其特征在于，所述分体式电子束偏转线圈包括至少两个偏转线圈；

所述偏转线圈包括线圈主体和第一绕组组件和第二绕组组件，所述线圈主体呈环形，所述第一绕组组件和所述第二绕组组件均设置在所述线圈主体的内侧，所述第一绕组组件和所述第二绕组组件对称设置，且在所述第一绕组组件和所述第二绕组组件之间形成磁场区；

其中一个所述线圈主体上的所述第一绕组组件和所述第二绕组组件之间的连线形成第一直线，另一个所述线圈主体上的所述第一绕组组件和所述第二绕组组件之间的连线形成第二直线，两个所述线圈主体相对固定设置，且使得所述第一直线和所述第二直线呈夹角设置，还使得所述电子束能依次经过两个所述磁场区。

2.根据权利要求1所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，两个所述线圈主体均呈圆环形。

3.根据权利要求2所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，两个所述线圈主体同轴设置。

4.根据权利要求1所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述第一直线与所述第二直线相互垂直。

5.根据权利要求1所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述第一绕组组件包括第一偏转极和两个第一约束极，所述第一偏转极和两个所述第一约束极间隔设置在所述线圈主体内侧，且所述第一偏转极位于两个所述第一约束极之间；

所述第二绕组组件包括第二偏转极和两个第二约束极，所述第二偏转极和两个所述第二约束极间隔设置在所述线圈主体的内侧，且所述第二偏转极位于两个所述第二约束极之间；

所述第一偏转极和所述第二偏转极相对称，两个所述第一约束极和两个所述第二约束极相对称。

6.根据权利要求5所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述第一绕组组件和所述第二绕组组件共用一个导线，所述导线依次缠绕在所述第二约束极、所述第二偏转极、所述第二约束极、所述第一约束极、所述第一偏转极和所述第一约束极；

所述导线在所述第一偏转极和两个所述第一约束极上的绕线方向相同；

所述导线在所述第二偏转极和两个所述第二约束极上的绕线方向相同；

所述导线在所述第一偏转极和所述第二偏转极上的绕线方向相反。

7.根据权利要求6所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述导线在所述第一偏转极上的绕线匝数大于所述导线在所述第一约束极上的绕线匝数；

所述导线在所述第二偏转极上的绕线匝数大于所述导线在所述第二约束极上的绕线匝数；

所述导线在所述第一约束极上的绕线匝数等于所述导线在所述第二约束极上的绕线匝数，所述导线在所述第一偏转极上的绕线匝数等于所述导线在所述第二偏转极上的绕线匝数。

8.根据权利要求5所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述第一偏转极朝向所述线圈主体的中心延伸，所述第一约束极的延伸方向与所述第一偏转极的延伸方向平行；

所述第二偏转极朝向所述线圈主体的中心延伸，所述第二约束极的延伸方向与所述第二偏转极的延伸方向平行。

9.根据权利要求5所述的分体式电子束偏转线圈，其特征在于，所述第一偏转极的截面面积大于所述第一约束极的截面面积；

所述第二偏转极的截面面积大于所述第二约束极的截面面积；

所述第一偏转极的截面面积等于所述第二偏转极的截面面积；

所述第一约束极的截面面积等于所述第二约束极的截面面积。

10.一种电子束设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的分体式电子束偏转线圈。