[发明专利]一种剥离液回收装置

说明书

本发明属于化工设备领域，特别涉及一种剥离液回收装置，包括过滤装置、闪蒸装置、精馏装置、干燥装置和真空装置，所述过滤装置与闪蒸装置相连接，所述闪蒸装置与精馏装置相连接，所述精馏装置与干燥装置相连接，所述干燥装置与真空装置相连接；通过设置过滤装置、闪蒸装置、精馏装置、干燥装置和真空装置，且相互配合连接，有利于简化剥离液回收再利用的过程，提高装置的使用性能。

技术领域

本发明属于化工设备领域，特别涉及一种剥离液回收装置。

背景技术

国内电子制造产业发展迅速,使剥离液等电子化学品的使用量大幅度增加。液晶显示面板、半导体集成电路等电子元器件生产过程中,需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去,通常使用的剥离液是由有机胺与极性有机溶剂组成的混合物,并含有少量以水分为代表的轻组分。使用剥离液对光刻胶进行去除时会产生大量剥离液废液,剥离液废液中除了含有少量高分子树脂(或PR胶)和水之外,大部分是有再利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂,而这些溶剂价格昂贵直接排放容易造成严重的环境污染,且提高了企业的经营成本，用现有技术进行剥离液废液再生时,整体再生效率低下,产率不高,影响光刻胶剥离液废液的回收利用效果

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种再生效率高的剥离液回收装置。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种剥离液回收装置，包括过滤装置、闪蒸装置、干燥装置、精馏装置和真空装置，所述过滤装置与闪蒸装置相连接，所述闪蒸装置与干燥装置相连接，所述精馏装置与闪蒸装置相连接，所述精馏装置与真空装置相连接。

上述的剥离液回收装置中，所述过滤装置内设有多个过滤器，所述多个过滤器相互连接。

上述的剥离液回收装置中，所述过滤装置内设有四个过滤器。

上述的剥离液回收装置中，所述闪蒸装置内设有闪蒸管加热器、闪蒸罐、薄膜蒸发器和馏出残渣罐，所述闪蒸管加热器与闪蒸罐相连接，所述闪蒸罐与薄膜蒸发器相连接，所述薄膜蒸发器与馏出残渣罐相连接。

上述的剥离液回收装置中，所述精馏装置内设有脱除轻组分装置、除重组分装置和精制装置，所述脱除轻组分装置内设有第一冷凝水缓冲罐、第一脱轻组分塔釜再沸器、第一脱轻组分塔、第一脱轻塔回流罐和第一脱轻组分塔顶冷凝器，所述第一冷凝水缓冲罐的顶部与第一脱轻组分塔釜再沸器相连接，所述除重组分装置和精制装置与第一脱轻组分塔相连接，所述第一脱轻组分塔与第一脱轻塔回流罐相连接，所述第一脱轻塔回流罐与第一脱轻组分塔顶冷凝器相连接；所述除重组分装置内设有第二冷凝水缓冲罐、第二脱重组分塔釜再沸器、第二脱重组分塔、第二脱重组分塔顶冷却器、第三脱重组分塔顶冷却器和第一脱重塔回流罐，所述第二冷凝水缓冲罐的顶部与第二脱重组分塔釜再沸器相连接，所述第二脱重组分塔釜再沸器与第二脱重组分塔相连接，所述第二脱重组分塔与第二脱重组分塔顶冷却器相连接，所述第二脱重组分塔顶冷却器与第三脱重组分塔顶冷却器相连接，所述第三脱重组分塔顶冷却器与第一脱重塔回流罐相连接；所述精制装置内设有精制塔釜再沸器、第三冷凝水缓冲罐、精制塔、精制塔回流罐、精制塔顶冷凝器、产品缓冲罐和产品冷却器，所述精制塔釜再沸器与第三冷凝水缓冲罐的顶部相连接，所述第三冷凝水缓冲罐与精制塔相连接，所述精制塔与精制塔回流罐相连接，所述精制塔回流罐与精制塔顶冷凝器相连接，所述精制塔顶冷凝器与产品缓冲罐相连接，所述产品缓冲罐与产品冷却器相连接。

上述的剥离液回收装置中，所述干燥装置内设有耙式干燥机、残渣蒸汽冷凝器、残渣蒸发冷凝罐和残渣蒸发循环泵，所述所述耙式干燥机与残渣蒸汽冷凝器相连接，所述残渣蒸汽冷凝器与残渣蒸发冷凝罐相连接，所述残渣蒸发冷凝罐与残渣蒸发循环泵相连接。