[发明专利]一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置在审
申请号: | 202010674385.5 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN113932836A | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 王盛凯;王英辉 | 申请(专利权)人: | 昆山微电子技术研究院 |
主分类号: | G01D5/20 | 分类号: | G01D5/20;G01P3/42;G01B7/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王云晓 |
地址: | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 驻极体 接触 空间 位置 传感 装置 | ||
1.一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置,其特征在于,包括电位信号采集处理单元、高压极化单元、至少一个运动单元和至少两个驻极体阵列单元;
所述驻极体阵列单元包括电极,以及贴合在所述电极表面的驻极体薄膜,所述驻极体阵列单元固定于预设的探测空间内;所述运动单元包括驻极体介质,所述运动单元与所述探测空间内可移动物体固定连接;
所述电位信号采集处理单元包括至少两个采集分路,任一所述电极均通过对应的所述采集分路与所述电位信号采集处理单元电连接,所述电位信号采集处理单元用于通过所述电极获取所述驻极体阵列单元的电位信息;任一所述驻极体阵列单元均与所述高压极化单元相互串联连接,所述高压极化单元用于向所述驻极体阵列单元发射脉冲电信号以维持所述驻极体阵列单元的表面电位。
2.根据权利要求1所述的传感装置,其特征在于,包括至少三个所述驻极体阵列单元。
3.根据权利要求2所述的传感装置,其特征在于,所述驻极体阵列单元均匀分布于所述探测空间的侧壁。
4.根据权利要求1所述的传感装置,其特征在于,所述电位信号采集处理单元还用于:
根据所述电位信息确定所述运动单元的速度信息和位置信息。
5.根据权利要求4所述的传感装置,其特征在于,所述驻极体阵列单元与所述采集分路一一对应。
6.根据权利要求1所述的传感装置,其特征在于,所述高压极化单元为可编程直流脉冲高压源。
7.根据权利要求6所述的传感装置,其特征在于,所述脉冲电信号中每个脉冲持续时间的取值范围为1μs至100ms,包括端点值。
8.根据权利要求1所述的传感装置,其特征在于,所述驻极体薄膜包括以下任意一种或任意组合:
聚四氟乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜、聚全氟乙烯丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚酯薄膜、聚酰亚胺薄膜、有机玻璃薄膜、树脂薄膜、松香薄膜;
所述驻极体介质包括以下任意一种或任意组合:
聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚全氟乙烯丙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、有机玻璃、树脂、松香。
9.根据权利要求8所述的传感装置,其特征在于,所述电极包括以下任意一种或任意组合:
PEDOT印刷层、ITO涂层、导电油墨印刷层。
10.根据权利要求8所述的传感装置,其特征在于,所述电极通过物理化学沉积工艺生长于所述驻极体薄膜表面。
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