[发明专利]一种真空镀蓝黑色功能梯度复合层及其制备方法在审
申请号: | 202010675402.7 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111850472A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 满伟文;范伟华;刘海华;王云鹏;谢见文 | 申请(专利权)人: | 深圳市森泰金属技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/08;C23C14/02 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 梁炎芳;谭雪婷 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 黑色 功能 梯度 复合 及其 制备 方法 | ||
1.一种真空镀蓝黑色功能梯度复合层,其特征在于,包括金属基体、打底过渡层、钛钢层、蓝黑色镀层,所述打底过渡层位于金属基体上方,所述钛钢层位于打底过渡层上方,所述蓝黑色镀层位于钛钢层上方;
所述钛钢层包含Ti、Al、Cr,其中,Ti、Al、Cr的原子百分比为:30%~50%:25%~40%:15%~30%。
2.根据权利要求1所述的真空镀蓝黑色功能梯度复合层,其特征在于,所述打底过渡层为Ti。
3.根据权利要求2所述的真空镀蓝黑色功能梯度复合层,其特征在于,所述打底过渡层的厚度为20~80nm,所述钛钢层的厚度为50~100nm,所述蓝黑色镀层的厚度为1~3um。
4.根据权利要求3所述的真空镀蓝黑色功能梯度复合层,其特征在于,所述蓝黑色镀层的颜色LAB值范围为L:33.00~38.00、A:-3.00~1.00、B:-10.00~-8.00。
5.一种制备权利要求1~4任一真空镀蓝黑色功能梯度复合层的方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1、抽真空至3~8×10-3Pa,随后通入纯度≥99.999%的高纯氩气,稳压至1~6×10-1Pa;
S2、用Ti打底,偏压270~320V,打底时间2~6min;
S3、用一定比例的Ti、Al、Cr电镀5~8min,并用纯度≥99.999%的高纯氩气稳压至1~3×10-1Pa;
S4、通入乙炔气体35~100ml/min,随后通入纯度≥99.9%的氧气20~320ml/min;
S5、钛钢靶电流30~100A;
S6、真空电镀70~180min的蓝黑色镀层,制得上述真空镀蓝黑色功能梯度复合层。
6.根据权利要求5所述的制备真空镀蓝黑色功能梯度复合层的方法,其特征在于,步骤S4中,氧气通入为渐进式,氧气的起始流量为20~150ml/min,随后每分钟增加3~9ml/min的氧气流量,至氧气流量250~320ml/min。
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