[发明专利]一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法有效
申请号: | 202010678202.7 | 申请日: | 2020-07-15 |
公开(公告)号: | CN111707712B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 赵兴奎;廖景昌;周宇波;黄河;沈河江 | 申请(专利权)人: | 襄阳臻芯传感科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;C04B35/488;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/632;C04B35/634;C04B35/636;C04B35/638;C04B35/64;C04B41/87 |
代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 李斌 |
地址: | 441000 湖北省襄阳市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传感器 芯片 增加 强度 制作方法 | ||
1.一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:在氮氧传感器芯片的生瓷坯体上的非功能区域印刷增强浆料,再经氮氧传感器芯片制作工序,得到氮氧传感器芯片。
2.根据权利要求1所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述增强浆料按质量份数由15-35份氧化铝粉,65-85份氧化锆粉,20-25份溶剂,0.5-1份分散剂,0.2-1份流平剂,0.5-1份偶联剂,5-7份树脂制备而成。
3.根据权利要求2所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述增强浆料的制备方法,具体为:先将溶剂、分散剂、流平剂、偶联剂、树脂加入配料罐中,然后,于密封条件下,在70-80℃加热20-30分钟,使树脂与溶剂和添加剂混合均匀;再向混合好的物料中加入氧化锆粉和氧化铝粉进行搅拌并脱泡,最后,搅拌后的物料经轧压后再经200-600目滤网过滤后所得到的滤浆即为增强浆料。
4.根据权利要求2所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述氧化铝粉的粒度不大于0.1μm;所述氧化锆粉为3Y四方晶型氧化锆粉,其粒度不大于50nm。
5.根据权利要求2所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述的溶剂为松油醇或乙二醇丁醚醋酸酯;所述的树脂为聚乙烯醇缩丁醛或乙基纤维素。
6.根据权利要求2所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述的分散剂为磷酸三丁酯或司班80。
7.根据权利要求2所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述的流平剂乙二醇甲醚。
8.根据权利要求1所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:所述的偶联剂为硅烷偶联剂。
9.根据权利要求2-8中任意一项所述的一种氮氧传感器芯片增加瓷体强度的制作方法,其特征在于:氮氧传感器芯片制作工序至少还包括:排胶工序和高温烧结工序;印刷有增强浆料的陶瓷片经排胶后,再经高温烧结,即可得到氮氧传感器芯片;其中,排胶是在300-450℃保温48-96h,用于将陶瓷片的树脂和溶剂排出;高温烧结是在1400-1450℃,保温1.5-3h。
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