[发明专利]一种N-PERT电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010678605.1 申请日: 2020-07-15
公开(公告)号: CN111785810B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 张胜军;吴智涵;沈梦超;顾振华;绪欣;许佳平;曹育红;符黎明 申请(专利权)人: 常州时创能源股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 pert 电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:包括对N型硅片依次进行去损伤层与制绒、正面硼扩散、去除背面和侧面PN结、背面磷扩散、两步湿化学边缘刻蚀、去除正面BSG和背面PSG、正背面镀膜和印刷烧结;所述正面硼扩散后正面BSG的厚度为30~60nm;所述背面磷扩散后背面PSG和侧面PSG的厚度为2~7nm;

所述两步湿化学边缘刻蚀包括:

第一步:链式单面酸洗去除硅片侧面的PSG:将硅片正面朝下置于链式刻蚀机的滚轮上,使得正面与HF溶液接触,去除侧面PSG同时保留正面大部分BSG层;

第二步:碱液刻蚀去除硅片侧面的磷扩散层。

2.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述链式单面酸洗的溶液为质量分数0.5~2%的HF溶液。

3.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述链式单面酸洗所用设备的滚轮带速为0.4~2.0m/min。

4.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述碱液为质量分数1~5%的KOH或NaOH溶液。

5.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述碱液含有体积分数为0.5~5%的碱抛添加剂。

6.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述碱液刻蚀的温度为50~75℃,时间为100~400s。

7.根据权利要求1所述的一种N-PERT电池的制备方法,其特征在于:所述碱液刻蚀后硅片侧面的刻蚀深度为1.5~5um。

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