[发明专利]一种芯片的封装方法在审
申请号: | 202010678851.7 | 申请日: | 2020-07-15 |
公开(公告)号: | CN111863639A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 顾俊晔;付贵平;胡健 | 申请(专利权)人: | 上海芯琰实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;G06K9/00 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 徐俊 |
地址: | 201900 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 方法 | ||
本发明涉及一种芯片的封装方法及结构,包括:采用一种基材,在基材上电铸金属管脚模块及线路;芯片背面通过高分子粘接材料与基材表面预设位置粘接;芯片正面的感应区外露;在芯片封装前,芯片表面预先覆盖了光刻胶或其他高分子材料;通过注塑模具注塑树脂将芯片、金属管脚模块、线路、引线包封在树脂包封层内;将基材移除,使管脚地面外露在包封层的下表面;通过机械研磨的方式打磨包封层上表面芯片正面的光刻胶或其他高分子材料外露;或者用注塑模具在注塑成形时,使注塑树脂不能注塑到高分子材料表面;采用化学药水或物理外力去除芯片表面外露的光刻胶或其他高分子材料;芯片正面高度低于包封层表面。此方法降低了半导体芯片的封装体厚度。
技术领域
本发明涉及一种芯片(尤其是光学芯片)的封装方法,属于半导体技术领域。
背景技术
随着消费类电子产品的发展,终端的需求对产品的空间尺寸要求越来越小、越来越薄,集成度越来越高。例如:扁平无引脚封装(Qual Flat Non Lead Package,QFN),QFN结构通常包含芯片焊盘与引线管脚行程的导线框架、塑封树脂包封层、金属引线及芯片。由于引线框架的结构及封装工艺的限制,其封装包封层厚度最小为450微米左右。
在传统指纹芯片封装工艺中,为了使芯片表面感应区域外露,在注塑封装工序中需要异形注塑模具,其缺陷在于模具成本高昂,不同的芯片设计需要不同的异形注塑模具。由此带来了极大的封装成本和极低的操作灵活性。
现有封装方法将芯片贴合在基板上,直接通过引线键合将芯片焊盘与基板管脚连接实现电气连接。虽然可以实现封装厚度在250微米左右,但是芯片裸露于环境中,可靠性不能满足要求,同时封装过程中可操作性极低。采用现有铜框架封装芯片,能够满足军标标准第三等级,但是其封装厚度在450微米左右,实现不了超薄封装。同时在封装时,为了使芯片正面裸露于包封层,需采用异形塑封模具封装。异形模具成本高昂,灵活度极低,故不适合在消费类电子芯片封装领域。
发明内容
本发明的目的是:降低半导体封装结构的厚度和封装工艺的难度。
为了达到上述目的,本发明的技术方案是提供了一种芯片的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
采用一种基材,在基材上电铸金属管脚模块,或者在基材上电铸金属管脚模块及金属焊盘;
在芯片封装前,芯片正面感应区覆盖高分子材料,对芯片形成保护;
芯片背面通过高分子粘接材料与基材表面预设位置或与金属焊盘粘接;
采用引线键合方式将芯片表面焊盘与金属管脚模块连接;
芯片封装时,通过注塑模具注塑树脂将芯片、金属管脚模块、引线、芯片背面的高分子粘接材料及芯片正面感应区的高分子材料包封在树脂内,并形成包封层;或者使用注塑模具注塑成形时,模具腔体上表面直接与芯片正面功能区的高分子材料接触从而使注塑树脂不能注塑到高分子材料表面,形成包封层后,芯片上的高分子材料直接外露于包封层,此时,跳过对机械研磨过程;
通过人工或者设备物理地将基材移除,使金属管脚模块下表面外露;
当芯片上的高分子材料未外露于包封层时,通过机械研磨的方式打磨包封层上表面,直至所需要的厚度,同时芯片正面的高分子材料外露,但引线埋入到包封层;
采用化学药水或物理外力去除芯片表面外露的高分子材料,使得封装成品的芯片正面的感应区外露,同时包封层包住芯片周围不需要外露部分。
优选地,所述基材的厚度为150微米。
优选地,所述金属管脚模块边缘具有蘑菇头结构。
优选地,所述金属管脚模块由金、镍、银、铜、钯、锡中任意一种材料制作而成,或者由金、镍、银、铜、钯、锡中一种以上金属叠层组成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造