[发明专利]用于校准高透反射率测量系统的标准结构及校准方法有效
| 申请号： | 202010679089.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111948179B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王圣浩;刘世杰;徐学科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/59;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 校准 反射率 测量 系统 标准 结构 方法 | ||
1.一种利用校准高透反射率测量系统的标准结构对高透反射率测量系统的校准方法，该标准结构包括腔体（1）、二氧化碳气源（2）、第一阀门（3）、真空泵（4）、第二阀门（5）和空气压力计（6），所述的二氧化碳气源（2）通过第一管道经第一阀门（3）与所述的腔体（1）相连，所述的真空泵（4）通过第二管道经第二阀门（5）与所述的腔体（1）相连，所述的空气压力计（6）通过第三管道与所述的腔体（1）相连接，其特征在于该方法包括以下步骤：
1）系统安装：在高透反射率测量系统中，安装标准结构的腔体（1），使激光器输出的激光经所述腔体（1）的入射端口进入所述腔体（1）、经所述腔体（1）的出射端口输出，被参考光探测器和测试光探测器收集；
2）关闭所述的激光器，利用数据采集器采集参考光探测器和测试光探测器收集到的光强信号，分别记为和；
3）打开所述的激光器，把激光器的波长设置为，利用所述的真空泵（4）把所述的腔体（1）内部的压强抽到1Pa以下；
4）利用数据采集器采集参考光探测器和测试光探测器收集到的光强信号，分别记为和；
5）利用二氧化碳气源（2），往所述的腔体（1）内部冲入二氧化碳气体，压强达到一个标准大气压；
6）利用数据采集器，采集参考光探测器和测试光探测器收集到的光强信号，分别记为和；
7）计算激光器的波长时，二氧化碳气体透过率的实验测量值T，公式如下：
；
8）比较波长处透过率的理论值F和实验测量值T，完成校准。
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