[发明专利]一种射流电解加工阵列微结构的系统及方法

权利要求书

1.一种射流电解加工阵列微结构的系统，包括电解液供给子系统（5）、电解加工喷头（3）、电解加工电源（9）和工件（8），其特征在于：它还包括电绝缘液体喷头（2）、喷头固定架（1）和电绝缘液体供给子系统（4）；所述的电解加工喷头（3）和电绝缘液体喷头（2）相互交错地固定于喷头固定架（1）上，且2个电解加工喷头（3）中间设有1个电绝缘液体喷头（2）；所述的电解加工喷头（3）和电绝缘液体喷头（2）置于工件（8）的上方；所述的电解加工喷头（3）与电绝缘液体喷头（2）间的距离可调；所述的电解加工喷头（3）与电绝缘液体喷头（2）各自与工件（8）间的距离可调；所述的电绝缘液体喷头（2）与电绝缘液体供给子系统（4）连通；所述的电解加工喷头（3）喷出的电解液（7）的流速可调；所述的电绝缘液体喷头（2）喷出的电绝缘液体（6）的流速可调；所述的喷头固定架（1）可相对于工件（8）作往复直线运动。

2.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电绝缘液体供给子系统（4）包括电绝缘液体流量控制阀（4-1）、液压泵（4-2）和电绝缘液体槽（4-3）。

3.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电绝缘液体喷头（2）的出口内径为0.05mm~0.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电解加工喷头（3）的出口内径为0.05mm~0.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电绝缘液体喷头（2）和电解加工喷头（3）之间的距离为2mm~20mm。

6.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的喷头固定架（1）的材质为耐酸、碱腐蚀的非金属固体材料。

7.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电绝缘液体（6）为煤油、硅油或石蜡油。

8.根据权利要求1所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：所述的电解加工喷头（3）与电解加工电源（9）的负极连接，所述的工件（8）与电解加工电源（9）的正极连接。

9.一种射流电解加工阵列微结构的方法，该方法使用权利要求1~8中任一项所述的一种射流电解加工阵列微结构的系统，其特征在于：它包括以下步骤：

S1:调整电解加工喷头（3）的下端出口相对于工件（8）的高度为0.1mm~5mm，打开电解加工喷头（3）的开关，让由电解加工喷头（3）喷出的电解液（7）垂直喷射到工件（8）的表面；

S2: 调整电绝缘液体喷头（2）的下端出口相对于工件（8）的高度为0.1mm~5mm，打开电绝缘液体喷头（2）的开关，让由电绝缘液体喷头（2）喷出的电绝缘液体（6）垂直喷射到工件（8）的表面；

S3:驱动喷头固定架（1）相对于工件（8）作直线运动，与此同时，协同调整电绝缘液体（6）的流速、电解液（7）的流速、两相邻的电绝缘液体喷头（2）与电解加工喷头（3）之间的距离，以使电解液（7）和电绝缘液体（6）在工件（8）的表面上形成电解液流与电绝缘液体流隔界明显且交错分布的稳定流路；

S4:将喷头固定架（1）移动到加工起始位置；

S5:驱动喷头固定架（1）按设定轨迹移动，在驱动喷头固定架（1）移动的同时，使电解加工喷头（3）和工件（8）分别与电解加工电源（9）的负极和正极连通；

S6:当喷头固定架（1）移动到设定轨迹终点时，断开电解加工电源（9），关停电解加工喷头（3）和电绝缘液体喷头（2），完成加工。