[发明专利]一种微米尺度表面微结构超精密加工方法

权利要求书

1.一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，以超精密数控机床作为加工平台、采用球形微铣刀为铣削刀具，在加工过程中通过改变进给速度和主轴转速以及刀具姿态来实现被加工零件的表面微结构加工。

2.根据权利要求1所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)、表面微结构铣削路径设计：将微结构加工分为进给方向铣削加工和行距方向铣削加工路径；

2)、表面微结构铣削参数设计：依据微结构的高度和分布要求，设计铣削参数组合，参数组合包括行程进给方向切削参数主轴转速S、进给速度F、行距P和切削深度dz；确定刀具直径D和刀刃数N，根据刀具直径D和刀刃数N选择对应的铣削刀具；

3)、表面微结构铣削加工：按照设计的铣削路径、表面微结构铣削参数，采用超精密数控机床和球形微铣刀对被加工零件表面进行铣削加工。

3.根据权利要求2所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，表面微结构铣削路径设计根据表面微结构分布要求设计，为平面铣削路径或曲面铣削路径。

4.根据权利要求2所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，铣削参数设计根据所要求得到的表面微结构需要多次改变切削参数，构造切削参数集合[S,F,P,dz]。

5.根据权利要求1或2所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，所述超精密数控机床包括三轴机床和五轴机床。

6.根据权利要求1或2所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，所述铣削刀具的材料包括金刚石和硬质合金。

7.根据权利要求1或2所述的一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，其特征在于，所述被加工零件为金属材料或非金属材料。