[发明专利]一种超细碳材料双模式等离子反应装置及其制备方法

权利要求书

1.一种超细碳材料双模式等离子反应装置，包括反应腔室本体(1)，其特征在于，所述反应腔室本体(1)内设置有相配合使用的发生器系统(2)和伺服进料系统(3)；

所述发生器系统(2)包括双模式离子发生器(21)，所述双模式离子发生器(21)一端设于所述反应腔室本体(1)内，所述双模式离子发生器(21)另一端设于所述反应腔室本体(1)外并与电源电连接；

所述伺服进料系统(3)包括石墨棒(303)和用以驱动所述石墨棒(303)沿其长度方向移动的驱动装置(301)；所述石墨棒(303)一端设于所述反应腔室本体(1)内，所述石墨棒(303)另一端与电源电连接；

所述双模式离子发生器(21)和石墨棒(303)沿反应腔室本体(1)的轴线对称设置；且所述双模式离子发生器(21)轴线与所述石墨棒(303)轴线处于同一直线；

所述反应腔室本体(1)上还设置有用以在线随时取样的在线取样系统(4)；所述在线取样系统(4)包括配合使用的密封件(41)、取样件(42)以及用以密封固定密封件(41)的第三固定套(45)，所述反应腔室本体(1)侧壁面开设有第三通孔，所述第三固定套(45)固定于反应腔室本体(1)侧壁面并与所述第三通孔密封连通；所述密封件(41)与所述第三固定套(45)密封固定连接；

所述密封件(41)包括上筒体(411)和下筒体(412)，所述上筒体(411)与下筒体(412)相连通固定；所述上筒体(411)远离下筒体(412)的一端固定有密封环(413)，所述密封环(413)内壁设置有密封圈(6)，所述密封环(413)内径与取样件(42)外径相适配；所述下筒体(412)设置有用以密封内腔室(102)的密封阀(43)和用以阻隔密封阀(43)的阻隔阀(44)；

所述取样件(42)包括固定杆(421)，所述固定杆(421)一端固定有手持杆(422)，所述固定杆(421)另一端固定有取样台(423)；所述取样件(42)依次穿过所述第三固定套(45)和所述第三通孔，且取样台(423)一端延伸入内腔室(102)内；

所述发生器系统(2)还包括用以密封固定双模式离子发生器(21)的第一固定套(22)；所述反应腔室本体(1)侧壁面开设有第一通孔，所述第一固定套(22)固定于反应腔室本体(1)侧壁面并与所述第一通孔密封连通；所述双模式离子发生器(21)一端依次穿过所述第一固定套(22)和所述第一通孔后延伸进反应腔室本体(1)里，所述双模式离子发生器(21)另一端与所述第一固定套(22)密封固定连接。

2.根据权利要求1所述的超细碳材料双模式等离子反应装置，其特征在于，所述伺服进料系统(3)还包括金属棒(302)和用以密封固定伺服进料系统(3)的第二固定套(304)；所述反应腔室本体(1)侧壁面开设有第二通孔，所述第二固定套(304)固定于反应腔室本体(1)侧壁面并与所述第二通孔密封连通；所述金属棒(302)一端与驱动装置(301)输出端固定连接，所述金属棒(302)另一端与石墨棒(303)远离双模式离子发生器(21)的一端固定连接；所述金属棒(302)和石墨棒(303)贯穿于第二固定套(304)内。

3.根据权利要求1所述的超细碳材料双模式等离子反应装置，其特征在于，所述反应腔室本体(1)包括套接设置的外腔室(101)和内腔室(102)，所述外腔室(101)和内腔室(102)之间形成水冷腔室(103)；所述外腔室(101)壁面开有第一进水口(108)和第一出水口(109)，所述第一进水口(108)和第一出水口(109)均与水冷腔室(103)相连通。

4.根据权利要求1所述的超细碳材料双模式等离子反应装置，其特征在于，所述取样件(42)还包括水冷套(424)，所述水冷套(424)套设于固定杆(421)外侧，所述水冷套(424)与固定杆(421)之间形成水冷腔(425)，所述水冷套(424)靠近手持杆(422)一端开有第二进水口(426)和第二出水口(427)；所述水冷套(424)一端与固定杆(421)外壁密封连接，所述水冷套(424)一端与取样台(423)密封连接；所述取样台(423)包括取样面(4231)和冷却腔(4232)，所述冷却腔(4232)与水冷腔(425)连通；所述水冷套(424)靠近手持杆(422)一端外壁固定有限位台(428)。