[发明专利]一种旋转靶材绑定方法

权利要求书

1.一种旋转靶材绑定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

S1：将待绑定旋转靶材加热至60℃，根据靶材加热后的膨胀量以及材料力学相关理论计算出需要加热的特定温度；

S2：将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；

S3：将旋转靶材加热至特定温度60℃使旋转靶材处于膨胀状态，然后在指定时间5min内把旋转靶材套装在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个缝隙空间；

S4：将旋转靶材冷却至室温；

待绑定旋转靶材是长度为2828mm、内径为133mm、外径为163mm、重量为80Kg的铜镓旋转靶材，背衬管的外径为125mm；

过盈量介乎于0.05mm与0.222mm之间；

所述步骤S1具体为：

S101：将所述旋转靶材进行加热，并记录靶材加热至不同温度后外径和内径的数值；

S102：计算旋转靶材最小过盈量；

S103：计算旋转靶材最大过盈量；

S104：根据旋转靶材的最小过盈量和最大过盈量，以及靶材常温常压状态下的内径，确定旋转靶材在膨胀状态下的内径选用范围；

S105：根据旋转靶材在膨胀状态下的内径选用范围，以及靶材加热至不同温度后内径的数值，确定旋转靶材需要加热的特定温度；

所述旋转靶材最小过盈量的计算方式为：

S102a：计算传递轴向力F；

S102b：计算传递载荷所需的最小结合压力P_min；

S103c：计算最小过盈量δ_min；

所述步骤S102a中，F＝Mg，式中，M为靶材质量，g为重力加速度；

所述步骤S102b中，P_min＝((F²+(2T÷d)²)^0.5)÷(πdlf)＝0.0132766Mpa，式中，T为传递力矩，d为公称直径，l为靶材长度，f为摩擦系数；

所述步骤S103c中，δ_min＝P_min×d×(C1÷E1+C2÷E2)×10³，式中，C 1为背衬管的刚性系数，C2为靶材的刚性系数，E1为背衬管的弹性模量，E2为靶材的弹性模量；

所述旋转靶材最大过盈量的计算方式为：

S103a：测试靶材的抗拉强度Rm；

S103b：计算传递载荷所需的最大结合压力P_max；

S103c：计算最大过盈量δ_max；

所述步骤S103b中，P_max＝((d₂²-d²)÷(d₂²+d²))×Rm÷a＝12.0385Mpa，式中，d₂为靶材的外径，a为安全系数；

所述步骤S103c中，δ_max＝P_max×d×(C1÷E1+C2÷E2)×10³。