[发明专利]具有透明帽的反射型线栅偏振器

说明书

一种反射型线栅偏振器(WGP)可以包括基板11的面上的导线12的阵列，毗邻导线12之间具有通道15。导线12可以具有针对WGP性能的某些特性，诸如，折射率、交替的高/低指数连续薄膜、(诸)层的厚度、占空比、反射型肋的形状、透明肋21或32的弯曲侧、纵横比或其组合。

发明领域

本申请一般涉及反射型线栅偏振器。

背景技术

线栅偏振器(WGP)可将光分为两种不同的偏振状态。一种偏振状态可以主要透过WGP，而另一种偏振状态可以主要被吸收或反射。WGP的有效性或性能基于主导透射偏振的高透射(有时称为Tp)和相反偏振的最小透射(有时称为Ts)。

通常，WGP结构中用以增加Tp的变化也会增加Ts，而WGP结构中用以降低Ts的变化也会降低Tp。因此，一些WGP被设计成用于高Tp并且其它WGP被设计成用于低Ts。

具有高对比度(Tp/Ts)可能是有益的。对比度可以通过增加主导透射偏振的透射(例如增加Tp)以及通过减少相反偏振的透射(例如减少Ts)来提高。

特别地，如果将使用所反射的光束，则具有主要透射偏振的极低反射(例如，低Rp)可能是重要的。相反偏振(Rs)的百分比反射也可以是偏振片性能的有用指示符。

发明内容

已经认识到，改进线栅偏振器(WGP)的性能，包括增加主导透射偏振的透射(例如，增加Tp)、减少相反偏振的透射(例如，减小Ts)、增加对比度(例如，Tp/Ts)、以及主导透射偏振态的低反射(例如，低Rp)，将是有利的。本发明涉及满足这些需求的WGP的各种实施例。每个实施例可以满足一个、一些或所有这些要求。

附图的简要说明(附图可能未按比例绘制)

图1是根据本发明的实施例的反射型线栅偏振器(WGP)10的示意性横截面侧视图，其包括基板11的面11_F上的导线12的阵列，在毗邻导线12之间具有通道15，每根导线12包括夹在透明肋21与基板11之间的反射型肋13。

图2是根据本发明实施例的WGP 20的示意透视图。

图3是根据本发明的实施例的反射型WGP 30的示意性横截面侧视图，其包括基板11的面11_F上的导线12的阵列，毗邻导线12之间具有通道15，每根导线12包括从最靠近基板11到最远离基板11的以下层：反射型肋13、第一透明肋31、吸收型肋34、以及第二透明肋32。

图4是根据本发明的实施例的反射型WGP 40的示意性横截面侧视图，其与本文中的其他WGP类似，但进一步包括反射型肋13，其在最远离基板11的远端13_D处比在最靠近基板11的近端13_P处更宽。图5a-b是根据本发明的实施例的反射型WGP 50a和50b的示意性横截面侧视图，其解说了反射型肋13的多个宽度W₁₃，包括窄节段51和宽节段52。

图6a是根据本发明实施例的反射型WGP 60a的示意性横截面侧视图，其类似于WGP10，但进一步包括具有弯曲侧21_C的透明肋21。

图6b是根据本发明实施例的反射型WGP 60b的示意性横截面侧视图，其类似于WGP30，但进一步包括具有弯曲侧32_C的第二透明肋32。

图7-8是解说根据本发明的实施例的制备WGP的方法中的各步骤的示意性横截面侧视图，包括按照从最靠近基板11到最远离基板11的顺序在基板11的面11_F上向基板11提供以下诸薄膜77：反射型薄膜73、透明薄膜71、然后是抗蚀剂薄膜75(图7)；以及图案化并蚀刻该抗蚀剂薄膜75以形成抗蚀剂肋85的阵列(图8)。