[发明专利]树脂组合物、混合物、干膜抗蚀剂及相应的元件

权利要求书

1.树脂组合物，其特征在于，包含有如下重量份的原料：

粘合剂聚合物，50~70份；

光聚合单体，10~50份；

光引发剂，0.5~5.0份；

消泡剂，0.1~5.0份；

其中，所述光聚合单体中包含有通式（Ⅰ）所示的化合物：

-通式（Ⅰ）；

通式（Ⅰ）中，R1为H或者CH₃，R2为H或者CH₃，R3为聚环氧丙烷或者环氧乙烷；

所述消泡剂中包含有通式（Ⅱ）所示的化合物：

-通式（Ⅱ）；

通式（Ⅱ）中，x，y和z为正整数，2≤x +z≤100，2≤y≤100。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：通式（Ⅰ）所示的化合物的平均分子量为400~10000。

3.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：通式（Ⅱ）所示的化合物的HLB值为1~7，平均分子量为1000~5000。

4.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：所述光聚合单体中包含有通式（Ⅲ）所示的化合物：

-通式（Ⅲ）；

通式（Ⅲ）中，m，n和l各自独立地为正整数，且2≤m+l≤40，2≤n≤40。

5.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：所述光引发剂包含有硫醇化合物，还包含有选自2,4,5-三芳基咪唑二聚体及其衍生物、四乙基米氏酮、N-苯基甘氨酸、吖啶化合物、香豆素化合物中的一种或几种物质。

6.根据权利要求5所述的树脂组合物，其特征在于：所述硫醇化合物选自己二硫醇、1,4-二甲基巯基苯、丁二醇二硫代丙烯酸酯、丁二醇二硫代甘醇酸酯、乙二醇二硫代甘醇酸酯、三羟甲基丙烷三硫代甘醇酸酯、丁二醇二硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代甘醇酸酯、三羟乙基三硫代丙酸酯、三（2-羟乙基）异氰脲酸酯-三（巯基丙酸酯）、二乙醇胺-三（巯基丙酸酯）、一缩二乙二醇-二（巯基丙酸酯）、苄基巯基丙酸酯中的一种或几种物质。

7.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于：还包含有添加剂，所述添加剂包含有染料、光成色剂、成色热稳定剂、增塑剂、颜料、填料、阻燃剂、稳定剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂。

8.干膜抗蚀剂，其特征在于：采用权利要求1-7中任一条所述的树脂组合物作为原料进行制备。

9.元件，其特征在于：制备过程中使用了权利要求8所述的干膜抗蚀剂。