[发明专利]一种光学系统自动装调系统及装调方法

权利要求书

1.一种光学系统自动装调系统，其特征在于，应用于的光学系统包括第一反射光学元件和第二反射光学元件；

所述光学系统自动装调系统包括控制装置、针对所述光学系统搭建的辅助元件、检测装置、第一调整装置和第二调整装置，所述辅助元件用于基于所述第一反射光学元件和所述第二反射光学元件形成的光路，辅助所述检测装置测量获得所述光学系统的像质数据，所述第一调整装置用于调整所述第一反射光学元件的位置或者姿态，所述第二调整装置用于调整所述第二反射光学元件的位置或者姿态；

所述控制装置用于执行以下步骤：

步骤S1：控制所述检测装置测量获得所述光学系统的像质数据，并判断获得的像质数据是否满足预设要求，若否则进入步骤S2；

步骤S2：根据获得的像质数据计算获得对所述第一反射光学元件进行调整的第一调整量或者获得对所述第二反射光学元件进行调整的第二调整量，并控制所述第一调整装置根据所述第一调整量调整所述第一反射光学元件，或者控制所述第二调整装置根据所述第二调整量调整所述第二反射光学元件，而后进入步骤S1。

2.根据权利要求1所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述检测装置具体用于向所述第一反射光学元件发出测量光、接收由所述第一反射光学元件返回的测量光并将返回的测量光与参考光混合发生干涉，并根据干涉结果计算获得所述光学系统的像质数据，其中，所述第一反射光学元件将测量光反射到所述第二反射光学元件，所述第二反射光学元件将测量光反射到所述辅助元件，所述辅助元件将测量光反射回所述第二反射光学元件，使得测量光沿原路逆向返回到所述检测装置。

3.根据权利要求1所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述辅助元件包括用于向所述第一反射光学元件发出光的光产生装置，所述检测装置用于接收所述第二反射光学元件的出射光而测量获得所述光学系统的像质数据。

4.根据权利要求1所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述第一调整装置包括用于调整所述第一反射光学元件的位置的电动六自由度调整机构，或者所述第二调整装置包括用于调整所述第二反射光学元件的位置的电动六自由度调整机构。

5.根据权利要求4所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述第一调整装置还包括用于辅助电动六自由度调整机构调整所述第一反射光学元件的位置的三轴调整机构，或者所述第二调整装置还包括用于辅助电动六自由度调整机构调整所述第二反射光学元件的位置的三轴调整机构。

6.根据权利要求1所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述第一调整装置包括用于夹持所述第一反射光学元件并能够调整所述第一反射光学元件的姿态的夹持机构，或者所述第二调整装置包括用于夹持所述第二反射光学元件并能够调整所述第二反射光学元件的姿态的夹持机构。

7.根据权利要求6所述的光学系统自动装调系统，其特征在于，所述夹持机构为气动夹持机构，包括用于夹持光学元件的卡爪以及用于驱动所述卡爪打开或者夹紧的气动执行器。

8.一种光学系统装调方法，其特征在于，应用于的光学系统包括第一反射光学元件和第二反射光学元件，针对所述光学系统搭建辅助元件和检测装置，所述辅助元件用于基于所述第一反射光学元件和所述第二反射光学元件形成的光路，辅助所述检测装置测量获得所述光学系统的像质数据；

所述装调方法包括：

步骤S1：控制所述检测装置测量获得所述光学系统的像质数据，并判断获得的像质数据是否满足预设要求，若否则进入步骤S2；

步骤S2：根据获得的像质数据计算获得对所述第一反射光学元件进行调整的第一调整量或者获得对所述第二反射光学元件进行调整的第二调整量，并根据所述第一调整量调整所述第一反射光学元件的位置或者姿态，或者根据所述第二调整量调整所述第二反射光学元件的位置或者姿态，而后进入步骤S1。