[发明专利]离子源电场结构及离子源装置在审
| 申请号： | 202010688577.1 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111710580A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生;刘运鸿 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 电场 结构 装置 | ||
1.一种离子源电场结构，包括设于外壳内的阳极部件，其特征在于，在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层；
所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计，与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态；
所述隔离金属层通过所述阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制。
2.根据权利要求1所述的离子源电场结构，其特征在于，所述隔离金属层为圆环形设计，形状与所述阳极部件的上部截面相同。
3.根据权利要求1所述的离子源电场结构，其特征在于，还包括支撑结构，用于固定所述隔离金属层。
4.根据权利要求3所述的离子源电场结构，其特征在于，在所述隔离金属层上下分别设有隔离垫片，所述隔离垫片用于支撑所述隔离金属层，将所述隔离金属层固定在所述阳极部件与外壳之间的设定距离处。
5.根据权利要求4所述的离子源电场结构，其特征在于，所述隔离垫片为石英隔离片。
6.根据权利要求1所述的离子源电场结构，其特征在于，所述隔离金属层还连接一电压源，通过所述电压源输出电压至所述隔离金属层产生相应的感应电场。
7.根据权利要求6所述的离子源电场结构，其特征在于，还包括：连接所述电压源的控制电路，用于控制所述电压源的输出电压。
8.根据权利要求7所述的离子源电场结构，其特征在于，还包括与所述控制电路连接的人机交互模块；
所述控制电路还用于通过所述人机交互模块接收输入的参数数据。
9.根据权利要求8所述的离子源电场结构，其特征在于，所述控制电路还用于根据输入的覆盖范围，根据所述覆盖范围计算所述发射角度，并根据所述发射角度计算电压源的输出电压。
10.一种离子源装置，包括：阴极、阳极部件和外壳，其特征在于，还包括：权利要求1-9任一项所述的离子源电场结构。
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