[发明专利]一种晶圆保持环花纹凸台宽度的测量方法及测量系统

权利要求书

1.一种晶圆保持环花纹凸台宽度的测量方法，其特征在于，所述的检测方法包括：

图像采集装置对晶圆保持环的花纹凸台进行拍照并将采集到的图像信息传输至测量软件系统，抓取图像信息中的花纹凸台特征点，通过测量软件系统计算得到特征点之间的距离数据即为花纹凸台宽度。

2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述的检测方法具体包括如下步骤：

S1用户手持图像采集装置对晶圆保持环的检测区域进行扫描并拍照，采集到的图像信息经数据交互端口传输至测量软件系统；

S2检测人员调整放大倍率选取清晰的花纹凸台图像，抓取任意一个花纹凸台的宽度两端极限特征点，经测量软件系统计算两个特征点之间的直线距离即为所选花纹凸台的宽度；

S3调整晶圆保持环的检测区域，重复步骤S1～S2，测量晶圆保持环不同检测区域内的花纹凸台宽度。

3.根据权利要求1或2所述的测量方法，其特征在于，步骤S1中，所述的图像采集装置为手持式显微镜；

优选地，步骤S2中，所述的放大倍率为50～200倍；

优选地，步骤S2还包括：通过测量软件系统算法对实测的顶面宽度数据和预设的参考宽度范围进行逻辑对比，当实测数据落入参考宽度范围内时提示该花纹凸台宽度达标，当实测数据落入参考宽度范围之外时提示该花纹凸台宽度不达标。

4.根据权利要求1-3任一项所述的测量方法，其特征在于，所述的晶圆保持环为由条形板材环绕形成的环形结构，环绕后的条形板材两端对接处保留缺口，所述的晶圆保持环的外表面均匀分布有平头棱锥形花纹凸台；

所述的晶圆保持环包括同轴设置的内侧环面和外侧环面，所述的内侧环面和外侧环面的顶面周向外缘和底面周向外缘分别通过上肩面和下肩面封闭形成所述的环形结构。

5.根据权利要求1-4任一项所述的测量方法，其特征在于，所述的测量方法包括：分别对晶圆保持环的内侧环面、外侧环面、上肩面和下肩面上分布的花纹凸台的顶面宽度进行测量；

优选地，对内侧环面、外侧环面、上肩面和下肩面上分布的花纹凸台的顶面宽度没有测量上的先后顺序。

6.根据权利要求2-5任一项所述的测量方法，其特征在于，对晶圆保持环的内侧环面的测量过程包括：在晶圆保持环的内侧环面上任选至少一个检测区域依次进行步骤S1和步骤S2，获取检测区域内任意一个花纹凸台的顶面宽度数据，并与预设的参考宽度范围进行逻辑对比，根据对比结果判定该花纹凸台是否达标；

优选地，在晶圆保持环的内侧环面上任选20～30个检测区域，进一步优选地，在晶圆保持环的内侧环面上任选24个检测区域；

优选地，所述的内侧环面上分布的花纹凸台的预设参考宽度范围为0.85～0.95mm；

优选地，在对内侧环面的检测区域进行测量的过程中，步骤S2所述的抓取过程为测量软件系统自动抓取检测区域内任意一个花纹凸台的宽度两端极限特征点。

7.根据权利要求2-6任一项所述的测量方法，其特征在于，对晶圆保持环的外侧环面的测量过程包括：在晶圆保持环的外侧环面上任选至少一个检测区域依次进行步骤S1和步骤S2，获取检测区域内任意一个花纹凸台的顶面宽度数据，并与预设的参考宽度范围进行逻辑对比，根据对比结果判定该花纹凸台是否达标；

优选地，在晶圆保持环的外侧环面上任选5～10个检测区域，进一步优选地，在晶圆保持环的外侧环面上任选8个检测区域；

优选地，所述的外侧环面上分布的花纹凸台的预设参考宽度范围为0.8～0.9mm；

优选地，在对外侧环面的检测区域进行测量的过程中，步骤S2所述的抓取过程包括：测量软件系统自动抓取检测区域内任意一个花纹凸台的宽度两端极限特征点。