[发明专利]一种超临界流体循环冷却方法及其装置

权利要求书

1.一种超临界流体循环冷却方法，其特征在于，包括：

提供一环形的封闭腔体，向其内通入超临界流体，并使所述超临界流体在所述封闭腔体内进行循环流动；

将工件送入所述封闭腔体，工件在所述封闭腔体内沿环形腔道移动，与循环流动的所述超临界流体进行对流换热，工件被冷却；

以及将冷却后的工件转移出所述封闭腔体。

2.根据权利要求1所述的超临界流体循环冷却方法，其特征在于，所述超临界流体为二氧化碳、氮气、水或空气。

3.根据权利要求1所述的超临界流体循环冷却方法，其特征在于，通过调整所述超临界流体的压力、温度和流速，控制所述工件的冷却速率。

4.根据权利要求1所述的超临界流体循环冷却方法，其特征在于，所述工件在进出所述封闭腔体的过程中，保持所述封闭腔体内的超临界流体的压力和温度稳定。

5.一种超临界流体循环冷却装置，其特征在于，包括：

一环形的封闭腔体，其内设置有用于工件传输的环形输送带；

一超临界流体供给系统，其与所述封闭腔体连通，以向所述封闭腔体内提供超临界流体。

6.根据权利要求5所述的超临界流体循环冷却装置，其特征在于，还包括：

一进料转移室，其与所述封闭腔体的首端连接；和

一出料转移室，其与所述封闭腔体的尾端连接。

7.根据权利要求6所述的超临界流体循环冷却装置，其特征在于，所述进料转移室与所述出料转移室结构相同，其前后两端分别设置有内侧快开门和外侧快开门，中部设置有进气口和泄气口。

8.根据权利要求5所述的超临界流体循环冷却装置，其特征在于，所述封闭腔体内装设有引风机、换热器、流体温度传感器、流体力传感器和流体流速传感器。

9.根据权利要求5所述的超临界流体循环冷却装置，其特征在于，所述超临界流体供给系统包括流体源储罐、增压泵、供给换热器和超临界流体储备罐，其中，所述超临界流体储备罐上装设有储罐温度传感器和储罐压力传感器。

10.根据权利要求5所述的超临界流体循环冷却装置，其特征在于，还包括：

一PID控制系统，分别与所述超临界流体供给系统、引风机、换热器、流体温度传感器、流体压力传感器和流体流速传感器电连接。