[发明专利]一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀

权利要求书

1.一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀，包括自上向下相连接的阀盖(1)和阀体(2)，所述阀盖(1)和阀体(2)之间连接有膜片(3)；阀盖(1)顶部开设先导气孔，先导气孔通过阀盖(1)内部开设的气源通道(1-1)连通至阀盖(1)底部开设的供膜片(3)中部起伏运动的活动槽(1-2)，形成上下贯通的通路；阀体(2)侧壁上分别开设相对设置的介质入口(4)和介质出口(5)，其特征在于，所述阀体(2)上表面分别开设入口缝隙(6)和出口缝隙(7)，入口缝隙(6)总过流面积大于出口缝隙(7)总过流面积，阀体(2)底部分别开设有入口腔体(8)和出口腔体(9)，介质入口(4)通过入口腔体(8)与入口缝隙(6)相连通，介质出口(5)通过出口腔体(9)与出口缝隙(7)相连通；所述入口腔体(8)内连接有进口封堵塞(10)，出口腔体(9)内连接有出口封堵塞(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀，其特征在于，所述进口封堵塞(10)外壁开设凹槽，该凹槽内设有用于密封进口封堵塞(10)与阀体(2)之间连接面的密封圈(14)，进口封堵塞(10)底部开设有内六角拧紧孔(10-1)；所述出口封堵塞(11)与进口封堵塞(10)结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀，其特征在于，所述介质入口(4)通过阀体(2)内开设的进气通道(12)与入口腔体(8)相连通，入口腔体(8)与入口缝隙(6)相连通；所述介质出口(5)通过阀体(2)内开设的出气通道(13)与出口腔体(9)相连通，出口腔体(9)与出口缝隙(7)相连通。

4.根据权利要求1所述的一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀，其特征在于，阀体(2)上表面开设凹槽，该凹槽内设有用于密封阀体(2)与膜片(3)之间连接面的密封环a(15)；阀盖(1)下表面开设凹槽，该凹槽内设有用于密封阀盖(1)与膜片(3)之间连接面的密封环b(16)。