[发明专利]一种涂层机的机芯构造

权利要求书

1.一种涂层机的机芯构造，包括真空容器，真空容器设有真空内腔，其特征在于：还包括离子发生机构和磁性弯管机构，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子；

磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈以及均安装于基座的靶材液冷固定组件和引弧组件，基座可拆卸安装于真空容器的侧壁，基座安装于真空弯管件的一端，真空弯管件与真空内腔连通，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，靶材液冷固定组件用于安装靶材并对靶材降温，引弧组件用于驱使该靶材产生弧斑，离子发生机构产生的离子轰击靶材，产生带电的溅射原子，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，带电的溅射原子通过真空弯管件进入真空内腔。

2.根据权利要求1所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述离子发生机构包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，装配基体安装于真空内腔内，负极载件安装于装配基体的上部，所述冷却组件安装于负极载件的下部并用于对负极载件冷却，正极载件和负极载件之间产生电场，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间，以使气腔基件位于所述电场中，所述气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔，离子通过离子发射通孔进入真空内腔。

3.根据权利要求2所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述冷却组件包括冷却托件、第一进液咀和第一出液咀，冷却托件安装于负极载件的下部，冷却托件与负极载件围设形成冷却液腔，第一进液咀和第一出液咀分别安装于冷却托件的两端，第一进液咀和第一出液咀与冷却液腔连通，冷却托件和负极载件之间安装有第一密封圈，以用于密封冷却托件和负极载件之间的间隙；所述正极载件安装有电极接线柱，以用于接入电源正极，所述负极载件接入电源负极，正极载件与负极载件之间形成电场。

4.根据权利要求2所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述离子发生机构还包括冷却围板，冷却围板中部设有安装孔，以用于安装气腔基件，冷却围板的下部设有注液棒，注液棒设有第一进液通道和第一出液通道，冷却围板的上部设有冷却环槽，第一进液通道和第一出液通道均与冷却环槽连通，冷却液依次流经第一进液通道、冷却环槽和第一出液通道，冷却环槽用于对气腔基件冷却，注液棒外侧套设有绝缘部件，绝缘部件用于保护注液棒。

5.根据权利要求2所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述离子发生机构还包括多个磁性部件，所述气腔基件设有多个限位孔，多个限位孔呈环形阵列，形成限位孔环，多个离子发射通孔呈直线阵列，多个离子发射通孔均位于限位孔环内部，多个磁性部件分别限位于多个限位孔。

6.根据权利要求1所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述靶材液冷固定组件包括安装于基座的液冷管件、安装于液冷管件一端的夹持件以及安装于液冷管件另一端的连接管件，液冷管件安装有夹持件的一端突伸至真空弯管件内部，液冷管件安装有连接管件的一端显露于真空弯管件外，夹持件设有夹持凹槽，夹持凹槽用于夹持靶材。

7.根据权利要求6所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述连接管件安装有第二进液咀和第二出液咀，液冷管件设有第二进液通道、与第二进液通道连通的第一液冷腔、与第一液冷腔连通的第二液冷腔以及与第二液冷腔连通的第二出液通道，第二进液咀与第二进液通道连通，第二出液咀与第二出液通道连通，第二进液通道设置于第二出液通道内部，第二进液通道与第二出液通道共轴设置，冷却液依次流经第二进液咀、第二进液通道、第一液冷腔、第二液冷腔、第二出液通道和第二出液咀，夹持件和液冷管件之间安装有第二密封圈。

8.根据权利要求1所述的一种涂层机的机芯构造，其特征在于：所述引弧组件包括安装于基座的驱动件、与驱动件输出端连接的杆件以及设置于杆件远离驱动件的一端的引弧部件，引弧部件包括固定于杆件的支撑部以及与支撑部一体成型的弯折部，驱动件用于驱使弯折部抵触靶材或远离靶材。