[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物、平板显示器基板及其制造方法

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含：

(a)下述化学式1所表示的仲胺、

(b)非质子有机溶剂化合物、和

(c)伯醇化合物，

[化学式1]

上述化学式1中，R为C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基、

所述C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基可被羟基、C1～C10的烷氧基、氰基或氟基取代或非取代，

n为0～3的整数。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述(a)化学式1所表示的仲胺是选自2-羟甲基氨基乙醇、2-(2-(羟甲基氨基)乙氧基)乙醇、2-(2-(2-(羟甲基氨基)乙氧基)乙氧基)乙醇、乙基氨基甲醇、N-羟甲基丙胺、丁基氨基甲醇、异丁基氨基甲醇和N-(2-羟丙基)氨基甲醇中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述(b)非质子有机溶剂化合物是选自吡咯烷酮化合物、咪唑烷酮化合物、亚砜化合物、磷酸酯化合物及酰胺化合物中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述(b)非质子有机溶剂化合物是选自1-乙酰基吡咯烷、2-吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、1,3-二丙基-2-咪唑烷酮、二甲亚砜、环丁砜、磷酸三乙酯、磷酸三丁酯、N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰基乙酰胺、N,N-叔丁基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-乙基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N-(2-羟乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基丁酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一种以上。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述(c)伯醇化合物是选自四氢糠醇、羟甲基环戊烯、4-羟甲基-1,3-二氧戊环、2-甲基-4-羟甲基-1,3-二氧戊环、2,2-二甲基-1,3-二氧戊环-4-甲醇、1,3-丙二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2-甲氧基乙醇、二乙二醇、三乙二醇、异丙二醇、二乙二醇单甲醚、二乙二醇乙醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、乙二醇单异丙醚、乙二醇单丁醚、单异丙醚、二乙二醇单丁醚、聚乙二醇、聚乙二醇单甲醚、聚乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、三丙二醇单甲醚和丙二醇单甲醚乙酸酯中的一种以上。

6.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，相对于抗蚀剂剥离液组合物总重量，包含：

(a)所述化学式1所表示的仲胺0.01至20重量％、

(b)非质子有机溶剂化合物10至70重量％、和

(c)伯醇化合物20至80重量％。

7.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离液组合物，相对于抗蚀剂剥离液组合物总重量，进一步包含(d)防腐蚀剂0.001至0.5重量％和(e)去离子水0.01至30重量％中的一种以上。

8.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离液组合物，(d)防腐蚀剂是选自4-甲基-1H-苯并三唑、5-甲基-1H-苯并三唑和甲苯基三唑中的一种以上。

9.一种平板显示器基板的制造方法，其包括使用权利要求1至8中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物对平板显示器基板进行清洗的工序。

10.由权利要求9所述的制造方法制造的平板显示器基板。