[发明专利]一种WTi靶材组件的焊接方法在审
| 申请号： | 202010694667.1 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111843162A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/14;B23K20/24;C23G1/20;B23K103/18 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 wti 组件 焊接 方法 | ||
1.一种WTi靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铝背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；
其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铝背板的焊接面进行碱处理；所述组装为铝背板和盖板以WTi靶材为中心对称组装。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述槽的宽为2-4mm；
优选地，所述槽的垂直深度为0.5-1.5mm；
优选地，所述槽的间距为3-5mm。
3.如权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述碱处理为使用碱溶液对铝背板焊接面进行处理；
优选地，所述碱溶液包括氢氧化钠溶液和/或氢氧化钾溶液；
优选地，所述碱溶液的浓度为6-12mol/L；
优选地，所述碱处理的时间为10-25min。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述脱气处理的温度为300-500℃；
优选地，所述脱气处理的保温时间≥2h。
5.如权利要求1-4任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述脱气处理的终点真空度≤5×10-3Pa。
6.如权利要求1-5任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接为扩散焊接。
7.如权利要求1-6任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的温度为350-550℃。
8.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的压力≥80MPa。
9.如权利要求1-8任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的保温时间≥2h。
10.如权利要求1-9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铝背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；
其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铝背板的焊接面进行碱处理；所述组装为铝背板和盖板以WTi靶材为中心对称组装；所述槽的宽为2-4mm；所述槽的垂直深度为0.5-1.5mm；所述槽的间距为3-5mm；所述碱处理为使用碱溶液对铝背板焊接面进行处理；所述碱溶液的浓度为6-12mol/L；所述碱处理的时间为10-25min。
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