[发明专利]基于ScAlN与InAlN极化插入层增强电场的N极性InGaN基太阳能电池有效
申请号: | 202010697623.4 | 申请日: | 2020-07-20 |
公开(公告)号: | CN111785794B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 许晟瑞;高源;吴浩洋;张雅超;陈大正;李培咸;张进成;郝跃 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/0735;H01L31/18 |
代理公司: | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人: | 王品华 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 scaln inaln 极化 插入 增强 电场 极性 ingan 太阳能电池 | ||
1.一种基于ScAlN与InAlN极化插入层增强电场的N极性InGaN基太阳能电池,自下而上包括衬底(1)、高温AlN成核层(2)、i-GaN 层(3)、n型InyGa1-yN层(5)、InzGa1-zN/GaN多量子阱层(6)和p型GaN层(7),n型InyGa1-yN层左右两端和p型GaN层上沉积有电极(9),其特征在于:
在i-GaN 层(3)与n型InyGa1-yN层(5)之间插入有InxAl1-xN层(4),在p型GaN层(7)上增设有ScuAl1-uN层(8),以通过在InxAl1-xN层(4)与n型InyGa1-yN层(5)之间的极化矢量差值,和p型GaN层(7)与ScuAl1-uN层(8)之间的极化矢量差值,产生强极化电场,并实现InxAl1-xN层(4)分别与i-GaN 层(3)和n型InyGa1-yN层(5)的晶格匹配;
所述InxAl1-xN层(4)的In组分x为0.21-0.24,厚度为10-30nm,所述ScuAl1-uN层(8)的Sc的组分u为0.2-0.4,且该两层(4,8)均采用N极性氮化物材料,即材料的最表层中心原子为N原子,在N极性下,极化电场与内建电场的方向相同,以增强载流子的漂移能力,提高太阳能电池的效率;
高温AlN成核层(2)采用厚度为20-30 nm的N极性AlN材料;i-GaN层(3)采用厚度为2-3mm的N极性GaN材料; n型InyGa1-yN层(5)采用厚度为1-2 mm的N极性InGaN材料,In的组分为0.02-0.06;InzGa1-zN/GaN多量子阱层(6),其中每个InzGa1-zN层的厚度为3-5nm,每个GaN层的厚度为5-10nm,In 含量x 的调整范围为0.15-0.3,其采用的是N极性的InGaN材料和GaN材料;p型GaN层(7)采用厚度为100-200nm的N极性GaN材料。
2.根据权利要求1所述的电池,其特征在于:衬底(1)采用了SiC或GaN或蓝宝石。
3.根据权利要求1所述的电池,其特征在于:所述InzGa1-zN/GaN多量子阱层(6)的周期数为10-30个周期,即InzGa1-zN层和GaN层交替生长。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的