[发明专利]光学系统、载体基板和用于制造光学系统的方法在审

专利信息
申请号: 202010700302.5 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN112241045A 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: C-A·马尼尔;H-H·奥珀曼;K·佐希克;T·泰金 申请(专利权)人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: G02B6/122 分类号: G02B6/122;G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136
代理公司: 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 代理人: 田玉珺;毛威
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光学系统 载体 用于 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光学系统(400),所述光学系统包括:

具有第一波导体(101)的第一光学部件(100),和

载体基板(300),其中所述第一光学部件(100)布置在所述载体基板(300)上,

其特征在于,

所述第一光学部件(100)具有带有相对于所述第一波导体(101)的限定的位置和/或取向的第一标记组(110),所述载体基板(300)具有第二标记组(310),并且根据所述第一和第二标记组(110、310)的相对位置和/或取向,能够检测在平行于所述载体基板(300)的表面的参考平面内是否产生了所述第一波导体(101)相对于所述载体基板(300)的期望的对准。

2.根据权利要求1所述的光学系统(400),其中,所述光学系统还包括布置在所述载体基板(300)上的第二光学部件(200),所述第二光学部件具有能够与所述第一波导体(101)光学耦合的第二波导体(201)。

3.根据权利要求2所述的光学系统(400),其中,所述第二光学部件包括带有相对于所述第二波导体(201)的限定的位置和/或取向的第三标记组(210),并且根据所述标记组(110、210、310)中的至少两个的相对位置和/或取向,能够检测所述第一和第二光学部件(100、200)是否在平行于所述载体基板(300)的表面的参考平面内相互对准,使得实现所述第一和第二波导体(101、201)的光学耦合。

4.根据权利要求2或3所述的光学系统,其中,所述第二光学部件还包括凹部(206),所述第二光学部件(200)从前侧(204)沿与所述前侧(204)对置的后侧(205)的方向至少部分地穿过所述凹部,其中所述第一光学部件(100)布置在所述凹部(206)内。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的光学系统(400),其中,所述载体基板(300)能够从所述第一和第二光学部件(100、200)移除,并且其中以光学填充材料(404)填充所述第一波导体(101)和所述第二波导体(201)之间的间隙,和/或以浇注材料(405)填充所述第一光学部件(100)和所述第二光学部件(200)之间的间隙。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的光学系统(400),其中,在所述第一光学部件(100)的背对所述载体基板(300)的后侧(105)施加牺牲结构(402),和/或其中在所述第二光学部件(200)的朝向所述载体基板(300)的前侧(204)施加带有用于接收所述载体基板(300)的凹部(410)的辅助载体(403),和/或其中将所述第一和第二光学部件(100、200)的表面变薄到共同的后侧(406)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的光学系统(400),其中,所述载体基板(300)在特定波长范围内,特别是在可见光和/或紫外和/或红外波长范围内,至少是部分透明和/或半透明的。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的光学系统(400),其中,所述第一波导体(101)与所述第一光学部件(100)的前侧(104)相距第一距离,所述第二波导体(101)与所述第二光学部件(200)的前侧(104)相距第二距离,所述第一和第二光学部件(100)的前侧(104)朝向所述载体基板(300),并且选择第一和第二距离,使得由此调节第一和第二光学部件(100,200)沿垂直于所述载体基板(300)的表面的法向方向的相互相对位置和/或取向,使得实现所述第一和第二波导体(101、201)的所述光学耦合。

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