[发明专利]柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜

权利要求书

1.一种柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将压电层材料溶于有机溶剂形成压电油墨；

S2：将导电浆料涂布在基材薄膜上得到第一电极层；

S3：在所述第一电极层上涂布所述压电油墨并烘干得到第一压电层，所述第一压电层覆盖在所述第一电极层以及所述第一电极层的第一侧，在所述第一电极层的第二侧留有第一电极区域，所述第一侧和所述第二侧对称分布；

S4：在所述第一压电层上涂布所述导电浆料形成第二电极层，所述第二电极层覆盖在所述第一压电层上与所述第一电极层在所述第二侧对齐并且不与所述第一电极层电接触，在所述第一压电层的所述第一侧形成第二电极区域；

S5：在所述第二电极层上依序涂布形成压电层，所述压电层覆盖在所述第二电极层以及所述第二电极层的所述第二侧，与所述第一电极层的所述第一侧对齐；

S6：在所述压电层上涂布形成电极层，所述电极层与所述第一电极层在所述第一侧对齐且涂覆在所述第一电极层的所述第二侧与所述第一电极层形成电接触，所述压电层与所述第一压电层形成并联结构；

S7：依序再次涂布压电层、电极层得到第一柔性多层复合压电薄膜；

S8：对所述第一柔性多层复合压电薄膜进行电晕极化处理得到第二柔性多层复合压电薄膜；

S9：用金属导线分别与所述第二柔性多层复合压电薄膜中的所述第一电极层和所述第二电极层分别相连作为正极和负极，得到第三柔性多层复合压电薄膜；

S10：在所述第三柔性多层复合压电薄膜外涂布形成保护层得到最终的柔性多层复合压电薄膜。

2.如权利要求1所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，所述第一压电层的正极与第一电极层相连，所述第一压电层的负极与第二电极层相连。

3.如权利要求1所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，所述第一电极层、所述第一压电层、所述第二电极层、所述保护层采用卷对卷微凹涂布工艺获得。

4.如权利要求3所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，所述卷对卷微凹涂布采用的微凹辊具有矩形阵列分布。

5.如权利要求4所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，所述微凹辊的辊径为200～250mm，网穴形状为六边形，网穴宽度为100～150μm，网穴深度为50～150μm；

所述微凹辊的运行速度与基材薄膜运行速度比为1.2:1～1.7:1。

6.如权利要求1-5任一所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S1中所述有机溶剂是N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮、二价酸酯、二甲基乙酰胺、丙酮中的一种或至少一种的混合溶剂；

所述压电层材料在所述压电油墨中的质量分数为10～30％，所述压电油墨的粘度为2000～7000cps。

7.如权利要求1-5任一所述的柔性多层复合压电薄膜的制备方法，其特征在于，所述导电浆料是热固化或UV固化型导电银浆，粘度范围为2000～6000cps。

8.一种柔性多层复合压电薄膜，其特征在于，采用如权利要求1-7任一所述的方法制备得到。

9.如权利要求8所述的柔性多层复合压电薄膜，其特征在于，包括至少2-15层压电层并联。

10.如权利要求8所述的柔性多层复合压电薄膜，其特征在于，功率密度为5～100W/m²。