[发明专利]一种高精度隧道式加速度计及其制备方法

权利要求书

1.一种高精度隧道式加速度计，包括玻璃衬底、硅片和石墨烯，玻璃衬底和硅通过阳极键合连接，其中在硅片上有反馈电极、质量块和隧道结，反馈电极位于质量块左侧，质量块与弹簧固定连接，隧道结位于质量块右侧，通过对石墨烯图形化，以施加电流的方式，使石墨烯内原子发生电迁移，最终使石墨烯中心位置发生断裂，形成纳米级隧道间隙。

2.权利要求1所述的高精度隧道式加速度计的制备方法，依次包括以下步骤：

(1)选用7740玻璃作为衬底；

(2)在硅片背面光刻刻蚀限位槽，高度为1μm，确保质量块处于自由可移动状态；

(3)阳极键合，将玻璃衬底与硅片背面进行对准和粘合；

(4)将硅片KOH减薄至2至60μm；

(5)继续在硅片正面标记位置刻蚀浅槽，并溅射金属腐蚀形成反馈电极和隧道电流发射电极；

(6)在硅片正面深度刻蚀，并刻穿硅片，生成可自由移动的弹簧和质量块；

(7)划片后，在两个隧道电流发射电极上集成石墨烯，通过施加电压，进行电致燃烧，在其中心位置形成隧道结。