[发明专利]流量控制装置和质量流量控制器

权利要求书

1.一种流量控制装置，其特征在于，包括阀体机构和控制机构，所述阀体机构包括阀体、阀芯、弹性片和阀块，所述阀体中形成有贯穿所述阀体的安装孔，所述阀芯和所述阀块叠置在所述安装孔中，所述弹性片设置在所述阀芯上，且位于所述阀芯与所述阀块之间，用于限定所述阀芯在所述安装孔中的位置，所述阀块中形成有贯穿所述阀块的多个通孔，所述多个通孔均朝向所述阀芯，所述控制机构用于改变所述阀芯与所述阀块之间的距离，所述弹性片的材料为金属材料，其上形成有多个沿厚度方向贯穿所述弹性片的工艺槽，所述弹性片在所述控制机构改变所述阀芯与所述阀块之间的距离时产生弹性形变。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述安装孔包括阀芯孔和阀块孔，所述阀芯孔的横截面面积小于所述阀块孔的横截面面积，所述阀芯匹配设置在所述阀芯孔中且所述阀芯能够在所述阀芯孔中运动，所述阀块匹配设置在所述阀块孔中，所述弹性片匹配设置在所述阀块孔中。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，所述阀芯孔为圆孔，所述弹性片为圆形片，且所述弹性片的直径大于所述阀芯孔的直径。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的流量控制装置，其特征在于，所述工艺槽包括相互连通的第一弧形段、第二弧形段和第三弧形段，所述第一弧形段和所述第三弧形段均环绕所述弹性片的中心设置，所述第一弧形段的半径小于所述第三弧形段的半径，所述第二弧形段连接在所述第一弧形段与所述第三弧形段之间，且所述第一弧形段、所述第二弧形段和所述第三弧形段的内侧朝向相同。

5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第一弧形段的半径为5-8mm、所述第二弧形段的半径为3-6mm、所述第三弧形段的半径为8-11mm；和/或

所述弹性片的厚度为0.3-0.6mm。

6.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上形成有三个所述工艺槽，且每个所述工艺槽的第一弧形段均位于另一所述工艺槽的第三弧形段与所述弹性片的中心之间。

7.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的中心孔，所述多个通孔包括位于所述阀块中心的第二通孔和位于所述第二通孔侧方的第一通孔，所述中心孔与所述第二通孔对应设置，且所述中心孔的直径大于所述第二通孔的直径。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的多个安装孔，多个所述安装孔环绕所述中心孔设置，所述阀芯上具有多个安装部，多个所述安装部与所述多个安装孔一一对应地设置，所述弹性片通过所述安装孔和所述安装部设置在所述阀芯上。

9.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述阀块朝向所述阀芯一侧的端面上形成有第一密封槽，所述第一密封槽中设置有金属阀口密封圈；所述阀块背离所述阀芯一侧的端面上形成有第二密封槽，所述第二密封槽中设置有金属阀体密封圈。

10.一种质量流量控制器，包括流量控制装置和流量检测装置，所述流量控制装置用于控制所述质量流量控制器的流体通路中的流体流量，所述流量检测装置用于检测所述流体通路中的流体流量，其特征在于，所述流量控制装置为权利要求1至9中任意一项所述的流量控制装置。