[发明专利]托盘预热腔及对应的PECVD设备

权利要求书

1.一种托盘预热腔，其用于与设置在其外的托盘转送模块之间进行托盘的交互以及用于托盘的预热，所述托盘预热腔包括：

腔体，其设置有第一连接件；

托盘预热模块，其设置在所述腔体中且包括用于可纵向移动地连接在所述第一连接件上的第二连接件、固定连接在所述第二连接件上的存储框架、以及沿纵向叠置在所述存储框架中的多层预热单元，每层预热单元包括依次沿纵向排布的隔板、加热器以及用于支撑托盘的从动滚轮组；

纵向驱动模块，其用于驱动所述第二连接件相对于所述第一连接件纵向移动从而驱使所述存储框架在所述腔体内纵向移动；

主动轮模块，其毗邻所述存储框架且设置在所述从动滚轮组两侧，所述主动轮模块具有用于驱动托盘在所述从动滚轮组上移动的托盘驱动位和用于等待调用且不阻挡存储框架上下移动的等待位，所述主动轮模块在所述托盘驱动位时伸入所述多个预热单元中的选定单元中、承接和驱动所述托盘在所述选定单元的选定从动滚轮组上到位或离位进入所述托盘转送模块；以及

控制模块，其配置成控制所述纵向驱动模块驱动所述存储框架纵向移动而使所述选定单元与所述托盘转送模块对准，所述控制模块在将托盘从所述托盘转送模块传入所述选定单元或反向传出时控制所述主动轮模块进入所述托盘驱动位、承接和驱动所述托盘在所述选定从动滚轮组上到位或离位，并在到位或离位后控制所述主动轮模块缩回至所述等待位，所述控制模块还控制承载有托盘的预热单元的加热器在氮气或惰性气体氛围下进行加热而将所述托盘的温度维持在预设预热温度。

2.根据权利要求1所述的托盘预热腔，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件两者形成滚珠丝杠，所述纵向驱动模块为驱动所述第二连接件相对于第一连接件纵向移动的步进电机。

3.根据权利要求2所述的托盘预热腔，其特征在于，所述第一连接件为纵向设置在所述腔体中且由轴承支撑的丝杠螺杆，所述第二连接件为与所述丝杠螺杆相匹配的丝杠螺母，所述存储框架固定连接在所述丝杠螺母上，所述存储框架的外侧设置有用于容纳存储框架在其中沿纵向行进的导轨，所述纵向驱动模块驱动所述存储框架沿导轨上下移动。

4.根据权利要求1或2所述的托盘预热腔，其特征在于，每层预热单元的所述隔板、加热器以及从动滚轮组按照从下至上的顺序固定连接在所述存储框架上，每层从动滚轮组与相邻层的相邻隔板之间具有容纳托盘的存储空间；所述预设预热温度在40～250摄氏度的范围内；所述加热器为多根红外加热灯管，所述隔板构造成能反射所述多根红外加热灯管发出的90％以上的红外光，所述控制模块能控制多个预热单元中每个预热单元的加热器独立地进行加热。

5.根据权利要求3所述的托盘预热腔，其特征在于，所述主动轮模块包括用于驱动托盘的主动滚轮组、用于驱动主动滚轮组水平伸缩以在托盘驱动位和等待位之间移动的第一驱动模块、以及用于驱动所述主动滚轮组转动从而驱动托盘水平移动的第二驱动模块，所述第一驱动模块和第二驱动模块均设置在所述腔体的外部。

6.根据权利要求5所述的托盘预热腔，其特征在于，所述控制模块在将待预热的托盘从所述托盘转送模块传送到所述选定单元时配置成：控制所述纵向驱动模块驱动所述存储框架纵向移动到使所述选定从动滚轮组的传送面与所述托盘转送模块的传送面对齐的位置，在到对齐的位置后控制所述第一驱动模块驱动所述主动滚轮组伸入所述选定单元且进至所述托盘驱动位，在进入托盘驱动位后控制所述第二驱动模块驱动所述主动滚轮组转动，从而驱使所述托盘在所述选定从动滚轮组上到位，并在到位后控制所述纵向驱动模块驱动所述存储框架向上移动预定距离，以便控制所述第一驱动模块驱动所述主动滚轮组无阻碍地缩回至等待位。