[发明专利]光学装置、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种光学装置，其特征在于，该光学装置具有：

镜筒，该镜筒形成有使光通过的开口；

光学部件，该光学部件包括具有比上述开口的面积大的面积的表面，上述光学部件以上述表面面向上述开口的方式被收容于上述镜筒；以及

喷吹部，该喷吹部配置成包围上述开口，相对于上述表面喷吹具有比上述镜筒的外部的气体的清洁度高的清洁度的气体。

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述喷吹部配置成在沿着上述表面的方向上从上述开口的端部离开。

3.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述光学装置还具有包围部件，该包围部件从上述开口的端部朝与上述光学部件相反侧的上述镜筒的外部延伸，并包围上述开口。

4.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述光学装置还具有控制部，该控制部基于上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量，控制上述喷吹部向上述表面喷吹的气体的流量。

5.如权利要求4所述的光学装置，其特征在于，

上述控制部根据上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量的变化，使上述喷吹部向上述表面喷吹的气体的流量变化。

6.如权利要求5所述的光学装置，其特征在于，

上述控制部，

在上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量增加的场合，使上述喷吹部向上述表面喷吹的气体的流量增加，

在上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量减少的场合，使上述喷吹部向上述表面喷吹的气体的流量减少。

7.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述光学装置还具有使上述喷吹部在沿着上述表面的方向移动的第1移动部。

8.如权利要求7所述的光学装置，其特征在于，

上述第1移动部基于上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量，使上述喷吹部在沿着上述表面的方向移动。

9.如权利要求8所述的光学装置，其特征在于，

上述第1移动部根据上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量的变化，使上述喷吹部在沿着上述表面的方向移动以便变更上述开口的端部与上述喷吹部之间的距离。

10.如权利要求9所述的光学装置，其特征在于，

上述第1移动部，

在上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量增加的场合，使上述喷吹部在沿着上述表面的方向移动以便上述开口的端部与上述喷吹部之间的距离变长，

在上述开口上的上述镜筒的外部的气体的流量减少的场合，使上述喷吹部在沿着上述表面的方向移动以便上述开口的端部与上述喷吹部之间的距离变短。

11.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述光学装置还具有使上述喷吹部在与沿着上述表面的方向正交的方向移动的第2移动部。

12.如权利要求11所述的光学装置，其特征在于，

上述第2移动部根据上述光学部件朝与沿着上述表面的方向正交的方向的移动，使上述喷吹部在与沿着上述表面的方向正交的方向移动以便上述表面与上述喷吹部之间的距离成为恒定。

13.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述开口具有U字形的开口形状。

14.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述喷吹部向上述表面喷吹的气体包括由过滤器过滤了的空气以及非活性气体中的至少一方。

15.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

上述喷吹部被保持于上述镜筒。