[发明专利]可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料及其使用方法

权利要求书

1.可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，包括衬底和微通道层，其特征在于微通道层分为第一微通道层和第二微通道层，第二微通道层位于衬底和第一微通道层之间；

第一微通道层为柔性材料；第一微通道层包括主微通道，主微通道为N条，等间距横向平行排列；主微通道内填充液态金属；每条主微通道均由M个相同的微通道单元等距离连通组成，微通道单元为手性结构；

第二微通道层中有等间距纵向平行排列的M条宽微通道，宽微通道相互连通；宽微通道的宽度与微通道单元宽度相同；宽微通道内填充液体溶液；液体溶液入口和液体溶液出口分别与宽微通道相连通。

2.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于第一微通道层所述柔性材料为PDMS。

3.根据权利要求2所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于第一微通道层PDMS厚度为120μm～180μm。

4.根据权利要求3所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于微通道单元为形。

5.根据权利要求3所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于第一微通道层中还包括辅微通道；辅微通道为两条、分别位于主微通道两端，每条辅微通道均与N条主微通道相连通；其中一条辅微通道与金属液体入口连接，另一条辅微通道与金属液体出口连接。

6.根据权利要求3所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于第二微通道层为柔性材料。

7.根据权利要求6所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于液体溶液的折射率与第二微通道层材料的折射率相同。

8.根据权利要求3所述的可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料，其特征在于宽微通道的深度为20μm～40μm；宽度为700μm～800μm。

9.权利要求1所述可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料的使用方法，其特征在于打开液体溶液入口和液体溶液出口，将液体溶液注入宽微通道；待液体溶液注满宽微通道后关闭液体溶液出口，继续注入液体溶液直至第一微通道层顶起，形成波浪状非平面，为非平面态；

液体溶液未将第一微通道层顶起，可调谐太赫兹波极化旋转的柔性超材料为平面态。